PECVD Graphite Wafer Support

Kurte Danasîn:

Ji bo rastbûn û performansê hatî sêwirandin, Piştgiriya Wafera Graphite ya VET Energy materyalek îdeal e ji bo karanîna di hilberandina waferê ya pêşkeftî de, ku li wir aramiya germî ya bilind û performansa domdar krîtîk in. Ma hûn bi waferên nîvconductor an jî binesazên din ên nazik re dixebitin, ev piştgirîya grafîtê ya bi kalîte dê pêbaweriya pêvajoyê û kalîteya hilberê we zêde bike, û wê ji bo hilberîna nûjen bike hêmanek domdar.


Detail Product

Tags Product

Piştgiriya wafera grafîtê ya pêvajoya VET Energy PECVD xerckirinek bingehîn e ku ji bo pêvajoya PECVD (depokirina buhara kîmyewî ya zêdekirî ya plazmayê) hatî çêkirin. Ev hilber ji materyalê grafîtê ya paqij-paqij, bi dendika bilind, bi berxwedana germahiya bilind a hêja, berxwedana korozyonê, aramiya dimensî û taybetmendiyên din ve hatî çêkirin, dikare ji bo pêvajoya PECVD-ê platformek piştgirî ya domdar peyda bike, da ku yekrêzî û şilbûna depokirina fîlimê peyda bike.

Sêwirana "piştgiriya grafîtê" ya piştgiriya wafera grafîtê ya VET Energy ne tenê dikare bi bandor piştgirî bide waferê, lê di heman demê de jîngeha PECVD-ya germahîya bilind û tansiyona bilind aramiya germî peyda dike da ku aramiya pêvajoyê peyda bike.

Piştgiriya wafera grafîtê ya pêvajoya VET Energy PECVD xwedî taybetmendiyên jêrîn e:

Paqijiya bilind:naveroka nepakiyê ya pir kêm, ji qirêjiya fîlimê dûr bixin, da ku kalîteya fîlimê misoger bikin.

Dendika bilind:dendika bilind, hêza mekanîkî ya bilind, dikare li hawîrdora PECVD-ê germahiya bilind û zexta bilind bisekinin.

Îstîqrara pîvanê ya baş:di germahiya bilind de guheztinên hûrgelê yên piçûk da ku aramiya pêvajoyê misoger bike.

Germbûna germî ya hêja:bi bandor germê veguhezîne da ku pêşî li germbûna wafer bigire.

Berxwedana korozyonê ya bihêz:Dikare li hember erozyona ji hêla gazên cûrbecûr û plazmayê yên korozîf ve li ber xwe bide.

Xizmeta xwerû:Tabloyên piştgiriya grafîtê yên bi mezinahî û şeklên cihêreng dikarin li gorî hewcedariyên xerîdar werin xweş kirin.

Materyalên grafîtê ji SGL:

Parametreya tîpîk: R6510

Naverok Test standard Giranî Yekbûn
Mezinahiya genim a navîn ISO 13320 10 μm
Density Bulk DIN IEC 60413/204 1.83 g/cm3
Poroziya vekirî DIN66133 10 %
Mezinahiya porê navîn DIN66133 1.8 μm
Permeability DIN 51935 0.06 cm²/s
Serhişkiya Rockwell HR5/100 DIN IEC60413/303 90 HR
Berxwedana elektrîkê ya taybetî DIN IEC 60413/402 13 μΩm
Hêza Flexural DIN IEC 60413/501 60 MPa
Hêza zextê DIN 51910 130 MPa
Modula Ciwan DIN 51915 11,5×10³ MPa
Berfirehbûna germî (20-200℃) DIN 51909 4.2X10-6 K-1
Germbûna germê (20℃) DIN 51908 105 Wm-1K-1

Ew bi taybetî ji bo hilberîna hucreya tavê ya bikêrhatî hatî sêwirandin, piştgirî dide hilberandina waferê ya mezin a G12. Sêwirana hilgirê optimîzekirî bi girîngî berbi zêde dike, rêjeyên hilberîna bilind û lêçûnên hilberînê kêm dike.

keştiya grafît
Şanî Awa Hejmara wafer carrier
PEVCD Keştiya Grephite - Rêzeya 156 156-13 qeyikê grephite 144
156-19 qeyikê grephite 216
156-21 qeyikê grephite 240
156-23 qeyikê grafît 308
PEVCD Keştiya Grephite - Rêzeya 125 125-15 qeyikê grephite 196
125-19 qeyikê grephite 252
125-21 qeyikê grphite 280
Avantajên Product
mişteriyên Company

  • Pêşî:
  • Piştî:

  • WhatsApp Online Chat!