Piştgiriya wafera grafîtê ya pêvajoya VET Energy PECVD xerckirinek bingehîn e ku ji bo pêvajoya PECVD (depokirina buhara kîmyewî ya zêdekirî ya plazmayê) hatî çêkirin. Ev hilber ji materyalê grafîtê ya paqij-paqij, bi dendika bilind, bi berxwedana germahiya bilind a hêja, berxwedana korozyonê, aramiya dimensî û taybetmendiyên din ve hatî çêkirin, dikare ji bo pêvajoya PECVD-ê platformek piştgirî ya domdar peyda bike, da ku yekrêzî û şilbûna depokirina fîlimê peyda bike.
Sêwirana "piştgiriya grafîtê" ya piştgiriya wafera grafîtê ya VET Energy ne tenê dikare bi bandor piştgirî bide waferê, lê di heman demê de jîngeha PECVD-ya germahîya bilind û tansiyona bilind aramiya germî peyda dike da ku aramiya pêvajoyê peyda bike.
Piştgiriya wafera grafîtê ya pêvajoya VET Energy PECVD xwedî taybetmendiyên jêrîn e:
▪Paqijiya bilind:naveroka nepakiyê ya pir kêm, ji qirêjiya fîlimê dûr bixin, da ku kalîteya fîlimê misoger bikin.
▪Dendika bilind:dendika bilind, hêza mekanîkî ya bilind, dikare li hawîrdora PECVD-ê germahiya bilind û zexta bilind bisekinin.
▪Îstîqrara pîvanê ya baş:di germahiya bilind de guheztinên hûrgelê yên piçûk da ku aramiya pêvajoyê misoger bike.
▪Germbûna germî ya hêja:bi bandor germê veguhezîne da ku pêşî li germbûna wafer bigire.
▪Berxwedana korozyonê ya bihêz:Dikare li hember erozyona ji hêla gazên cûrbecûr û plazmayê yên korozîf ve li ber xwe bide.
▪Xizmeta xwerû:Tabloyên piştgiriya grafîtê yên bi mezinahî û şeklên cihêreng dikarin li gorî hewcedariyên xerîdar werin xweş kirin.
Materyalên grafîtê ji SGL:
Parametreya tîpîk: R6510 | |||
Naverok | Test standard | Giranî | Yekbûn |
Mezinahiya genim a navîn | ISO 13320 | 10 | μm |
Density Bulk | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Poroziya vekirî | DIN66133 | 10 | % |
Mezinahiya porê navîn | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeability | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Serhişkiya Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Berxwedana elektrîkê ya taybetî | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Hêza Flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Hêza zextê | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modula Ciwan | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Berfirehbûna germî (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Germbûna germê (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ew bi taybetî ji bo hilberîna hucreya tavê ya bikêrhatî hatî sêwirandin, piştgirî dide hilberandina waferê ya mezin a G12. Sêwirana hilgirê optimîzekirî bi girîngî berbi zêde dike, rêjeyên hilberîna bilind û lêçûnên hilberînê kêm dike.
Şanî | Awa | Hejmara wafer carrier |
PEVCD Keştiya Grephite - Rêzeya 156 | 156-13 qeyikê grephite | 144 |
156-19 qeyikê grephite | 216 | |
156-21 qeyikê grephite | 240 | |
156-23 qeyikê grafît | 308 | |
PEVCD Keştiya Grephite - Rêzeya 125 | 125-15 qeyikê grephite | 196 |
125-19 qeyikê grephite | 252 | |
125-21 qeyikê grphite | 280 |