Rêbazên amadekirinê û taybetmendiyên performansê yên pêlava karbîdê silicon CVD çi ne?

CVD (Chemical Vapor Deposition) rêbazek gelemperî ye ku ji bo amadekirina pêlên karbîdê silicon tê bikar anîn.CVD pêlên karbîd silicongelek taybetmendiyên performansa yekta hene. Ev gotar dê rêbaza amadekirina pêlava karbîdê silicon CVD û taybetmendiyên performansa wê bide nasandin.

1. Rêbaza amadekirinaCVD pêlava karbîdê silicon

Rêbaza CVD di bin şert û mercên germahiya bilind de pêşgirên gazê vediguhezîne pêlên karbîd ên silicon hişk. Li gorî pêşgotinên cûda yên gazê, ew dikare li qonaxa gazê CVD û qonaxa şil CVD were dabeş kirin.

1. Qonaxa vapor CVD

Qonaxa vaporê CVD pêşgirên gazê, bi gelemperî pêkhateyên organosilicon bikar tîne, da ku mezinbûna fîlimên karbîd ên silicon bi dest bixe. Têkiliyên organosilicon bi gelemperî têne bikar anîn methylsilane, dimethylsilane, monosilane, hwd., ku bi veguheztina pêşgirên gazê di nav odeyên reaksiyonê yên germahiya bilind de fîlimên karbîd ên silicon li ser binesazên metal çêdikin. Deverên germahiya bilind ên di odeya reaksiyonê de bi gelemperî bi germkirina induction an germkirina berxwedêr têne çêkirin.

2. Qonaxa Liquid CVD

CVD-qonaxa avî pêşekek şilek bikar tîne, bi gelemperî halverek organîk ku di nav xwe de silicon û pêkhateyek silanol heye, ku di jûreyek reaksiyonê de tê germ kirin û vemirandin, û dûv re bi reaksiyonek kîmyewî fîlimek karbîd a silicon li ser substratê çê dibe.

2. Taybetmendiyên performansê yênCVD pêlava karbîdê silicon

1.Excellent performansa germahiya bilind

CVD pêlên karbîd siliconaramiya germahiya bilind û berxwedana oksîdasyonê ya hêja pêşkêş dikin. Ew karibe di hawîrdorên germahiya bilind de bixebite û dikare di germahiyên bilind de li ber şert û mercên giran bisekine.

2.Good milkên mekanîk

CVD pêlava karbîdê siliconxwedan serhişkiya bilind û berxwedana lixwekirina baş e. Ew binerdên metal ji xitimandin û korozyonê diparêze, jiyana karûbarê materyalê dirêj dike.

3. aramiya kîmyewî ya hêja

CVD pêlên karbîd siliconli hember kîmyewiyên hevpar ên wekî asîd, alkalis û xwê pir berxwedêr in. Ew li dijî êrîşa kîmyewî û korozyona substratê li ber xwe dide.

4. Rêjeya kêşanê ya kêm

CVD pêlava karbîdê siliconxwedan hejmûnek nizm û taybetmendiyên xwe-rûnkirinê yên baş e. Ew kêş û cilê kêm dike û karbidestiya karanîna materyalê çêtir dike.

5.Good veguhestina termal

Çêkirina karbîd a silicon CVD xwedan taybetmendiyên guheztina germî ya baş e. Ew dikare zû germê bike û karbidestiya belavkirina germê ya bingeha metalê baştir bike.

Taybetmendiyên insulasyona elektrîkê 6.Excellent

Pîvana karbîd a silicon CVD xwedan taybetmendiyên însulasyona elektrîkê ya baş e û dikare pêşî li lerizîna heyî bigire. Ew bi berfirehî di parastina insulasyona amûrên elektronîkî de tê bikar anîn.

7. stûrbûn û pêkhatina birêkûpêk

Bi kontrolkirina şert û mercên di dema pêvajoya CVD-ê de û giraniya pêşbirkê, qalind û pêkhatina fîlima karbîd a silicon dikare were sererast kirin. Ev ji bo cûrbecûr sepanan gelek vebijark û nermbûnê peyda dike.

Bi kurtasî, pêlava karbîd a silicon CVD xwedan performansa germahiya bilind, taybetmendiyên mekanîkî yên hêja, aramiya kîmyewî ya baş, hevrêziya felqê ya kêm, gerîdeya germî ya baş û taybetmendiyên însulasyona elektrîkê heye. Van taybetmendiyan dike ku pêlên karbîdê silicon CVD bi berfirehî di gelek qadan de tê bikar anîn, di nav de elektronîk, optîk, hewavanî, pîşesaziya kîmyewî, hwd.