Wekî celebek nû ya materyalê nîvconductor, SiC ji ber taybetmendiyên xwe yên fîzîkî û kîmyewî yên hêja û ji bo çêkirina amûrên optoelektronîkî yên dirêjahiya pêla kurt, amûrên germahiya bilind, amûrên elektronîkî yên bi hêz/hêza bilind, bûye madeya nîvconductor ya herî girîng. taybetmendiyên elektrîkê. Bi taybetî dema ku di bin şert û mercên giran û dijwar de têne sepandin, taybetmendiyên cîhazên SiC ji yên cîhazên Si û cîhazên GaAs pir zêdetir in. Ji ber vê yekê, cîhazên SiC û cûrbecûr senzor hêdî hêdî bûne yek ji amûrên sereke, ku her ku diçe rolek girîng dileyzin.
Amûr û çerxên SiC ji salên 1980-an vir ve bi lez pêş ketine, nemaze ji sala 1989-an vir ve gava ku yekem wafera substrate SiC ket sûkê. Di hin waran de, wek dîodên ronahiyê, amûrên bi hêz û voltaja bilind ên frekansa bilind, amûrên SiC bi berfirehî hatine bikar anîn. Pêşveçûn bi lez e. Piştî pêşkeftina nêzîkê 10 salan, pêvajoya cîhaza SiC karîbû amûrên bazirganî çêbike. Hejmarek pargîdaniyên ku ji hêla Cree ve têne temsîl kirin dest bi pêşkêşkirina hilberên bazirganî yên amûrên SiC kirine. Enstîtuyên lêkolînê yên navxwe û zanîngeh jî di mezinbûna materyalê SiC û teknolojiya çêkirina cîhazê de destkeftiyên dilşewat bi dest xistine. Her çend materyalê SiC xwedan taybetmendiyên fizîkî û kîmyewî pir çêtir e, û teknolojiya cîhaza SiC jî gihîştî ye, lê performansa cîhaz û çerxên SiC ne çêtir e. Ji bilî materyalê SiC û pêvajoya amûrê pêdivî ye ku bi domdarî were baştir kirin. Pêdivî ye ku bêtir hewildan werin kirin ka meriv çawa ji materyalên SiC-ê bi xweşbînkirina strukturên cîhaza S5C an pêşniyarkirina strukturek cîhaza nû sûd werdigire.
Niha. Lêkolîna amûrên SiC bi giranî li ser cîhazên veqetandî disekine. Ji bo her celeb strukturên cîhazê, lêkolîna destpêkê ev e ku meriv bi tenê strukturên cîhaza Si an GaAs-a têkildar bi SiC veguhezîne bêyî xweşbînkirina strukturên cîhazê. Ji ber ku tebeqeya oksîdê ya navxweyî ya SiC wekî Si ye, ku SiO2 ye, ev tê vê wateyê ku piraniya amûrên Si, nemaze amûrên m-pa, dikarin li ser SiC werin çêkirin. Her çend ew tenê veguheztinek hêsan e jî, hin amûrên ku hatine bidestxistin encamên têrker bi dest xistine, û hin amûr jî berê xwe dane bazara kargehê.
Amûrên optoelektronîkî yên SiC, nemaze dîodên ronahiya şîn (BLU-ray led), di destpêka salên 1990-an de ketin bazarê û yekem amûrên SiC-ê yên girseyî ne. Diodên SiC Schottky yên voltaja bilind, transîstorên hêza SiC RF, MOSFETên SiC û mesFET jî ji hêla bazirganî ve têne peyda kirin. Bê guman, performansa van hemî hilberên SiC ji lîstina taybetmendiyên super ên materyalên SiC dûr e, û fonksiyon û performansa bihêztir a cîhazên SiC hîn jî pêdivî ye ku were lêkolîn û pêşxistin. Veguheztinên wusa hêsan bi gelemperî nekarin avantajên materyalên SiC bi tevahî bikar bînin. Tewra di warê hin avantajên cîhazên SiC de jî. Hin amûrên SiC yên ku di destpêkê de hatine çêkirin nikarin bi performansa cîhazên Si an CaAs ên têkildar re hevber bikin.
Ji bo ku em avantajên taybetmendiyên materyalê SiC çêtir veguherînin avantajên cîhazên SiC, em naha dixwînin ka meriv çawa pêvajoya hilberîna cîhazê û strukturê cîhazê xweşbîn bike an jî strukturên nû û pêvajoyên nû pêşve bibe da ku fonksiyon û performansa cîhazên SiC baştir bike.
Dema şandinê: Tebax-23-2022