SILICON WAFER

SILICON WAFER

ji sitronic

Awaferperçeyek ji siliconê ye ku bi qasî 1 mîlîmetre stûr e ku bi saya prosedurên ku ji hêla teknîkî ve pir bikêr in, xwedan rûyek zehf zexm e. Bikaranîna paşîn diyar dike ka kîjan pêvajoya mezinbûna krîstal divê were bikar anîn. Mînakî, di pêvajoya Czochralski de, siliconê polîkrîstal tê helandin û krîstalek tovê tenik a qelemê di nav sîlicona şilandî de tê rijandin. Dûv re krîstala tovê tê zivirandin û hêdî hêdî ber bi jor ve tê kişandin. Kolosek pir giran, monokrîstalek, encam dibe. Mimkun e ku meriv taybetmendiyên elektrîkî yên monokrîstal bi lêzêdekirina yekîneyên piçûk ên dopantên paqijiya bilind hilbijêrin. Krîstal li gorî taybetmendiyên xerîdar têne dopîn kirin û dûv re şûştin û qut kirin. Piştî gavên cûda yên hilberînê, xerîdar waferên xwe yên diyarkirî di pakêtek taybetî de werdigire, ku dihêle xerîdar bikar bînewaferyekser di xeta hilberîna xwe de.

Îro, beşek mezin ji monokrîstalên silicon li gorî pêvajoya Czochralski têne mezin kirin, ku tê de siliconê polîkrîstalîn-paqijiya bilind di nav xaçkirina quartz a hîperpaqij de dihele û dopantê (bi gelemperî B, P, As, Sb) lê zêde dike. Krîstalek tovê tenik û monokrîstal di nav sîlîkona şilandî de tê rijandin. Dûv re krîstalek mezin a CZ ji vê krîstala zirav çêdibe. Rêzkirina rast a germahî û herikîna siliconê ya şilandî, zivirandina krîstal û kaxez, û her weha leza kişandina krîstal di encamê de çîçekek siliconek monokrîstal a pir bi kalîte peyda dike.