Ji bo PECVD Xwediyê Waferê Substrate Graphite

Ji bo Wêneya Taybetmendî ya PECVD Xwediyê Waferê Substrate Graphite

Kurte Danasîn:

Xwediya Substrata Grafîtê ya VET Energy ji bo ku li seranserê pêvajoya PECVD lihevhatina wafer û aramiyê biparêze, pêşî li gemariyê bigire û xetera zirarê kêm bike, hatî çêkirin. Graphite Wafer Holder platformek ewledar, yekta peyda dike, dabîn dike ku wafer ji bo depokirina domdar û bi kalîte bi rengek wekhev li plazmayê têne xuyang kirin. Bi guheztina xweya germî ya bilind û hêza xweya awarte, ev xwedan alîkar dike ku karbidestiya pêvajoyê ya giştî û performansa hilberê baştir bike.

E-nameyê ji me re bişînin Wekî PDF dakêşin

Detail Product

Tags Product

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder hilgirek rast e ku ji bo pêvajoya PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) hatî çêkirin. Ev Xwediya Substrata Grafîtê ya bi kalîte ji materyalê grafîtê ya paqij-paqijî, bi dendika bilind, bi berxwedana germahiya bilind a hêja, berxwedana korozyonê, aramiya dimensî û taybetmendiyên din ve hatî çêkirin. Ew dikare ji bo pêvajoya PECVD-ê platformek piştgirî ya domdar peyda bike û yekrêzî û şilbûna depokirina fîlimê misoger bike.

Tabloya piştgiriya wafera grafîtê ya pêvajoya VET Energy PECVD xwedî taybetmendiyên jêrîn e:

▪Paqijiya bilind:naveroka nepakî ya pir kêm, ji qirêjiya fîlimê dûr bixin, kalîteya fîlimê misoger bikin.

▪Dendika bilind:dendika bilind, hêza mekanîkî ya bilind, dikare li hawîrdora PECVD-ê germahiya bilind û zexta bilind bisekinin.

▪Îstîqrara pîvanê ya baş:Guhertina pîvana piçûk di germahiya bilind de, aramiya pêvajoyê peyda dike.

▪Germbûna germî ya hêja:bi bandor germê veguhezîne da ku pêşî li germbûna wafer bigire.

▪Berxwedana korozyonê ya bihêz:dikare li hember erozyona bi gazên cûrbecûr û plazmayê yên korozîf li ber xwe bide.

▪Xizmeta xwerû:Tabloyên piştevaniya grafîtê yên bi mezinahî û şeklên cihêreng dikarin li gorî hewcedariyên xerîdar bêne xweş kirin.

Avantajên Product

▪Kalîteya fîlimê çêtir bikin:Depokirina fîlimê ya yekgirtî piştrast bikin û kalîteya fîlimê baştir bikin.

▪Jiyana amûrê dirêj bikin:Berxwedana korozyonê ya hêja, jiyana karûbarê alavên PECVD dirêj dike.

▪Mesrefên hilberînê kêm bikin:Tîpên grafîtê yên qalîteya bilind dikarin rêjeya hilweşandinê kêm bikin û lêçûnên hilberînê kêm bikin.

Materyalên grafîtê ji SGL:

Parametreya tîpîk: R6510
Naverok	Test standard	Giranî	Yekbûn
Mezinahiya genim a navîn	ISO 13320	10	μm
Density Bulk	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Poroziya vekirî	DIN66133	10	%
Mezinahiya porê navîn	DIN66133	1.8	μm
Permeability	DIN 51935	0.06	cm²/s
Serhişkiya Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Berxwedana elektrîkê ya taybetî	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Hêza Flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Hêza zextê	DIN 51910	130	MPa
Modula Ciwan	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Berfirehbûna germî (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Germbûna germê (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ew bi taybetî ji bo hilberîna hucreya tavê ya bikêrhatî hatî sêwirandin, piştgirî dide hilberandina waferê ya mezin a G12. Sêwirana hilgirê optimîzekirî bi girîngî berbi zêde dike, rêjeyên hilberîna bilind û lêçûnên hilberînê kêm dike.

Şanî	Awa	Hejmara wafer carrier
PEVCD Keştiya Grephite - Rêzeya 156	156-13 qeyikê grephite	144
	156-19 qeyikê grephite	216
	156-21 qeyikê grephite	240
	156-23 qeyikê grafît	308
PEVCD Keştiya Grephite - Rêzeya 125	125-15 qeyikê grephite	196
	125-19 qeyikê grephite	252
	125-21 qeyikê grphite	280