VET ಎನರ್ಜಿ PECVD ಲೋಡಿಂಗ್ ಟ್ರೇ PECVD (ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವರ್ಧಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ನಿಖರವಾದ ವಾಹಕವಾಗಿದೆ. ಈ ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಠೇವಣಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ಇದು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಇದು PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ವಾಹಕ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಠೇವಣಿಯ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಸಮತಲತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
VET ಎನರ್ಜಿ PECVD ಲೋಡಿಂಗ್ ಟ್ರೇಗಳನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ, LED ಮತ್ತು ಇತರ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ:
▪ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್: ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್ಗಳಂತಹ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ.
▪ ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ: ಸೌರ ಕೋಶ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳಿಗೆ PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ.
▪ LED: LED ಚಿಪ್ಗಳಿಗಾಗಿ PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ.
ಉತ್ಪನ್ನ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು
▪ಚಿತ್ರದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ:ಏಕರೂಪದ ಫಿಲ್ಮ್ ನಿಕ್ಷೇಪವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ ಮತ್ತು ಚಿತ್ರದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ.
▪ಸಲಕರಣೆಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಿ:ಅತ್ಯುತ್ತಮ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, PECVD ಉಪಕರಣಗಳ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಿ.
▪ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ:ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇಗಳು ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪ್ ದರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
SGL ನಿಂದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತು:
ವಿಶಿಷ್ಟ ನಿಯತಾಂಕ: R6510 | |||
ಸೂಚ್ಯಂಕ | ಪರೀಕ್ಷಾ ಮಾನದಂಡ | ಮೌಲ್ಯ | ಘಟಕ |
ಸರಾಸರಿ ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ | ISO 13320 | 10 | μm |
ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/204 | 1.83 | ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 |
ತೆರೆದ ಸರಂಧ್ರತೆ | DIN66133 | 10 | % |
ಮಧ್ಯಮ ರಂಧ್ರದ ಗಾತ್ರ | DIN66133 | 1.8 | μm |
ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆ | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
ರಾಕ್ವೆಲ್ ಗಡಸುತನ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಿದ್ಯುತ್ ಪ್ರತಿರೋಧ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/402 | 13 | μΩm |
ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/501 | 60 | ಎಂಪಿಎ |
ಸಂಕುಚಿತ ಶಕ್ತಿ | DIN 51910 | 130 | ಎಂಪಿಎ |
ಯಂಗ್ಸ್ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | DIN 51915 | 11.5×10³ | ಎಂಪಿಎ |
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ಇದನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಸೌರ ಕೋಶ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, G12 ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಆಪ್ಟಿಮೈಸ್ಡ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಥ್ರೋಪುಟ್ ಅನ್ನು ಗಣನೀಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ ದರಗಳು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚಗಳನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಐಟಂ | ಟೈಪ್ ಮಾಡಿ | ಸಂಖ್ಯೆ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ |
PEVCD ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ - 156 ಸರಣಿ | 156-13 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 144 |
156-19 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 216 | |
156-21 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 240 | |
156-23 ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 308 | |
PEVCD ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ - 125 ಸರಣಿ | 125-15 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 196 |
125-19 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 252 | |
125-21 ಗ್ರಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 280 |