VET ಎನರ್ಜಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ವೇಫರ್ ಹೋಲ್ಡರ್ PECVD (ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವರ್ಧಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಠೇವಣಿ) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ನಿಖರ ವಾಹಕವಾಗಿದೆ. ಈ ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ಹೋಲ್ಡರ್ ಅನ್ನು ಉನ್ನತ-ಶುದ್ಧತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ. ಇದು PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ಬೆಂಬಲ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಠೇವಣಿಯ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
VET ಶಕ್ತಿ PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವೇಫರ್ ಬೆಂಬಲ ಕೋಷ್ಟಕವು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:
▪ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ:ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಅಶುದ್ಧತೆ, ಚಿತ್ರದ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಿ, ಚಿತ್ರದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ.
▪ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ:ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ PECVD ಪರಿಸರವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು.
▪ಉತ್ತಮ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ:ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಣ್ಣ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
▪ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ:ವೇಫರ್ ಅಧಿಕ ಬಿಸಿಯಾಗುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಶಾಖವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ವರ್ಗಾಯಿಸಿ.
▪ಬಲವಾದ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ:ವಿವಿಧ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಿಂದ ಸವೆತವನ್ನು ವಿರೋಧಿಸಬಹುದು.
▪ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಸೇವೆ:ವಿವಿಧ ಗಾತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಆಕಾರಗಳ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೆಂಬಲ ಕೋಷ್ಟಕಗಳನ್ನು ಗ್ರಾಹಕರ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು.
ಉತ್ಪನ್ನ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು
▪ಚಿತ್ರದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ:ಏಕರೂಪದ ಫಿಲ್ಮ್ ನಿಕ್ಷೇಪವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ ಮತ್ತು ಚಿತ್ರದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ.
▪ಸಲಕರಣೆಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಿ:ಅತ್ಯುತ್ತಮ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, PECVD ಉಪಕರಣಗಳ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಿ.
▪ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ:ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇಗಳು ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪ್ ದರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
SGL ನಿಂದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತು:
ವಿಶಿಷ್ಟ ನಿಯತಾಂಕ: R6510 | |||
ಸೂಚ್ಯಂಕ | ಪರೀಕ್ಷಾ ಮಾನದಂಡ | ಮೌಲ್ಯ | ಘಟಕ |
ಸರಾಸರಿ ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ | ISO 13320 | 10 | μm |
ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/204 | 1.83 | ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 |
ತೆರೆದ ಸರಂಧ್ರತೆ | DIN66133 | 10 | % |
ಮಧ್ಯಮ ರಂಧ್ರದ ಗಾತ್ರ | DIN66133 | 1.8 | μm |
ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆ | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
ರಾಕ್ವೆಲ್ ಗಡಸುತನ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಿದ್ಯುತ್ ಪ್ರತಿರೋಧ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/402 | 13 | μΩm |
ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/501 | 60 | ಎಂಪಿಎ |
ಸಂಕುಚಿತ ಶಕ್ತಿ | DIN 51910 | 130 | ಎಂಪಿಎ |
ಯಂಗ್ಸ್ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | DIN 51915 | 11.5×10³ | ಎಂಪಿಎ |
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ಇದನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಸೌರ ಕೋಶ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, G12 ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಆಪ್ಟಿಮೈಸ್ಡ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಥ್ರೋಪುಟ್ ಅನ್ನು ಗಣನೀಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ ದರಗಳು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚಗಳನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಐಟಂ | ಟೈಪ್ ಮಾಡಿ | ಸಂಖ್ಯೆ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ |
PEVCD ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ - 156 ಸರಣಿ | 156-13 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 144 |
156-19 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 216 | |
156-21 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 240 | |
156-23 ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 308 | |
PEVCD ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ - 125 ಸರಣಿ | 125-15 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 196 |
125-19 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 252 | |
125-21 ಗ್ರಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 280 |