SiC жабыны бар графитті MOCVD вафельді тасымалдағыштар, Графитке арналған қабылдағыштарSiC эпитаксисі,
Көміртек сезімталдықты қамтамасыз етеді, Графиттік эпитаксисті сезгіштер, Графитті тірек субстраттары, MOCVD сенсоры, SiC эпитаксисі, Вафельді сезгіштер,
SiC қапталған графит сенсорларының ерекше артықшылықтарына өте жоғары тазалық, біртекті жабын және тамаша қызмет мерзімі жатады. Олар сондай-ақ жоғары химиялық төзімділік пен термиялық тұрақтылық қасиеттеріне ие.
Жартылай өткізгіштерге арналған графит субстратының SiC жабыны жоғары тазалық пен тотықтырғыш атмосфераға төзімді бөлікті шығарады.
CVD SiC немесе CVI SiC қарапайым немесе күрделі дизайн бөліктерінің Графитіне қолданылады. Қаптауды әртүрлі қалыңдықта және өте үлкен бөліктерге қолдануға болады.
Ерекше өзгешеліктері:
· Тамаша термиялық соққыға төзімділік
· Соққыға тамаша физикалық төзімділік
· Тамаша химиялық төзімділік
· Өте жоғары тазалық
· Күрделі пішіндегі қолжетімділік
· Тотықтырғыш атмосферада қолдануға болады
Қолдану:
Негізгі графит материалының типтік қасиеттері:
Көрінетін тығыздық: | 1,85 г/см3 |
Электр кедергісі: | 11 мкм |
Иілу күші: | 49 МПа (500кгс/см2) |
Жағаның қаттылығы: | 58 |
Күл: | <5 бет мин |
Жылу өткізгіштік: | 116 Вт/мК (100 ккал/мсағ-℃) |
Көміртек сезімталдықты қамтамасыз етедіжәне барлық ағымдағы эпитаксистік реакторлар үшін графит компоненттері. Біздің портфолиомыз қолданбалы және LPE қондырғыларына арналған бөшкеге арналған сенсорларды, LPE, CSD және Gemini қондырғыларына арналған құймақ сенсорларын және қолданбалы және ASM қондырғыларына арналған бір пластинкалы сенсорларды қамтиды. Жетекші OEM-мен, материалды сараптаумен және өндірістік ноу-хаумен, SGL-мен берік серіктестікті біріктіру арқылы. қолданбаңыз үшін оңтайлы дизайнды ұсынады.