SiC жабындысы бар графитті MOCVD вафельді тасымалдағыштар, SiC эпитаксиясына арналған графитті қабылдағыштар,
Көміртек сезімталдықты қамтамасыз етеді, эпитаксиозды сезгіштер, Графит сезімталдықты қамтамасыз етеді, Графит пластинасының қабылдағыштары,
CVD-SiC жабыны тұрақты физикалық және химиялық қасиеттері бар біркелкі құрылым, ықшам материал, жоғары температураға төзімділік, тотығуға төзімділік, жоғары тазалық, қышқыл және сілтіге төзімділік және органикалық реагент сипаттамаларына ие.
Тазалығы жоғары графиттік материалдармен салыстырғанда, графит 400С-та тотыға бастайды, бұл тотығу салдарынан ұнтақтың жоғалуына әкеледі, нәтижесінде перифериялық құрылғылар мен вакуумдық камералар қоршаған ортаның ластануына әкеледі және жоғары тазалықтағы ортаның қоспаларын арттырады.
Дегенмен, SiC жабыны физикалық және химиялық тұрақтылықты 1600 градуста сақтай алады, ол қазіргі заманғы өнеркәсіпте, әсіресе жартылай өткізгіш өнеркәсібінде кеңінен қолданылады.
Біздің компания графит, керамика және басқа да материалдардың бетіне CVD әдісімен SiC жабынымен жабу процесін қамтамасыз етеді, осылайша көміртегі мен кремнийі бар арнайы газдар жоғары температурада әрекеттеседі, жоғары таза SiC молекулаларын, қапталған материалдардың бетіне тұндырылған молекулаларды, SIC қорғаныс қабатын құрайды. Түзілген SIC графит негізіне мықтап жабысып, графит негізіне ерекше қасиеттер береді, осылайша графиттің бетін ықшам, кеуектіліксіз, жоғары температураға төзімді, коррозияға және тотығуға төзімді етеді.
Негізгі ерекшеліктері:
1. Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі:
температура 1700 С-қа дейін жоғары болған кезде тотығуға төзімділік әлі де өте жақсы.
2. Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
3. Эрозияға төзімділік: жоғары қаттылық, ықшам беті, ұсақ бөлшектер.
4. Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
CVD-SIC жабындарының негізгі сипаттамалары:
SiC-CVD | ||
Тығыздығы | (г/cc)
| 3.21 |
Иілу күші | (МПа)
| 470 |
Термиялық кеңею | (10-6/К) | 4
|
Жылу өткізгіштік | (Вт/мК) | 300 |
Жабдықтау мүмкіндігі:
Айына 10000 дана/дана
Қаптама және жеткізу:
Қаптама: Стандартты және күшті қаптама
Поли пакет + қорап + картон + паллет
Порт:
Нинбо/Шэньчжэнь/Шанхай
Тоқтау:
Саны (дана) | 1 – 1000 | >1000 |
Оңтүстік Америка шығыс бөлігінің стандартты уақыты. Уақыт (күндер) | 15 | Келіссөздер жүргізу |