PECVD Жүктеу науасы Тұндырғыш графит науасы

PECVD Жүктеу науасын орналастыру Графит науасын таңдаулы кескін

Қысқаша сипаттама:

VET Energy компаниясының PECVD жүктеу науасы тұндыру процесінің бірізділігі мен сапасын арттыра отырып, тұндыру кезінде пластиналарды қауіпсіз және біркелкі қолдауды қамтамасыз етуге арналған. Графит науасы өзінің тамаша ыстыққа төзімділігімен PECVD камераларының ішінде бақыланатын ортаны сақтауға көмектеседі, ластану қаупін азайтады және процестің жоғары тиімділігін қамтамасыз етеді.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз PDF ретінде жүктеп алыңыз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

VET Energy PECVD тиеу науасы PECVD (плазмада жақсартылған химиялық бу тұндыру) процесіне арналған дәлдіктегі тасымалдаушы болып табылады. Бұл жоғары сапалы тұндырғыш графит науасы жоғары таза, жоғары тығыздықтағы графит материалынан жасалған. Ол тамаша жоғары температураға, коррозияға төзімділікке, өлшемдік тұрақтылыққа және басқа сипаттамаларға ие. Ол PECVD процесі үшін тұрақты тасымалдаушы платформаны қамтамасыз ете алады және пленка тұндыруының біркелкілігі мен тегістігін қамтамасыз етеді.

VET Energy PECVD жүктеу науалары жартылай өткізгіш, фотоэлектрлік, жарықдиодты және басқа салаларда кеңінен қолданылады. Мысалы:

▪ Жартылай өткізгіш: кремний пластиналары және эпитаксиалды пластиналар сияқты жартылай өткізгіш материалдарға арналған PECVD процесі.

▪ Фотоэлектрлік: күн батареясының жұқа қабықшалары үшін PECVD процесі.

▪ LED: LED чиптеріне арналған PECVD процесі.

Өнімнің артықшылықтары

▪Фильм сапасын жақсарту:Біркелкі пленка тұндыруын қамтамасыз ету және пленка сапасын жақсарту.

▪Жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту:Тамаша коррозияға төзімділік, PECVD жабдығының қызмет ету мерзімін ұзартады.

▪Өндіріс шығындарын азайту:Жоғары сапалы графит науалары қалдықтарды азайтуға және өндіріс шығындарын азайтуға мүмкіндік береді.

SGL графит материалы:

Әдеттегі параметр: R6510
Индекс	Сынақ стандарты	Мән	Бірлік
Дәннің орташа мөлшері	ISO 13320	10	мкм
Көлемдік тығыздық	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Ашық кеуектілік	DIN66133	10	%
Кеуектің орташа мөлшері	DIN66133	1.8	мкм
Өткізгіштік	DIN 51935	0,06	см²/с
Роквелл қаттылығы HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Меншікті электр кедергісі	DIN IEC 60413/402	13	мкм
Иілу күші	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Қысу күші	DIN 51910	130	МПа
Янг модулі	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Термиялық кеңею (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Жылу өткізгіштік (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ол G12 үлкен өлшемді вафлиді өңдеуді қолдайтын жоғары тиімді күн батареяларын өндіру үшін арнайы жасалған. Оңтайландырылған тасымалдаушы дизайны өнімділікті айтарлықтай арттырады, бұл жоғары кірістілік көрсеткіштеріне және өндіріс шығындарын төмендетуге мүмкіндік береді.

Элемент	Түр	Вафельді тасымалдаушы нөмір
PEVCD Grephite қайығы - 156 сериясы	156-13 грефиттік қайық	144
	156-19 грефитті қайық	216
	156-21 грефиттік қайық	240
	156-23 графит қайық	308
PEVCD Grephite қайығы - 125 сериясы	125-15 грефиттік қайық	196
	125-19 грефитті қайық	252
	125-21 грфиттік қайық	280