PECVD үшін графит субстрат пластинасының ұстағышы

PECVD таңдаулы кескініне арналған графит субстрат пластинасы ұстағышы

Қысқаша сипаттама:

VET Energy компаниясының графит субстрат ұстағышы ластануды болдырмайтын және зақымдану қаупін барынша азайта отырып, PECVD процесінде пластинаның туралануы мен тұрақтылығын сақтау үшін жасалған. Графит вафли ұстағышы біркелкі және жоғары сапалы тұндыру үшін пластинаның плазмаға біркелкі әсер етуін қамтамасыз ететін қауіпсіз, біркелкі платформаны қамтамасыз етеді. Жоғары жылу өткізгіштігі және ерекше беріктігі арқасында бұл ұстағыш жалпы процестің тиімділігін және өнімнің өнімділігін арттыруға көмектеседі.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз PDF ретінде жүктеп алыңыз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder PECVD (плазмадағы жақсартылған химиялық буларды тұндыру) процесіне арналған дәлдіктегі тасымалдаушы болып табылады. Бұл жоғары сапалы Графит субстрат ұстағышы жоғары температураға, коррозияға төзімділікке, өлшемдік тұрақтылыққа және басқа сипаттамаларға тамаша жоғары таза, тығыздығы жоғары графит материалынан жасалған. Ол PECVD процесі үшін тұрақты қолдау платформасын қамтамасыз ете алады және пленканың тұндыруының біркелкілігі мен тегістігін қамтамасыз етеді.

VET Energy PECVD процесінің графит пластинасын қолдау кестесі келесі сипаттамаларға ие:

▪Жоғары тазалық:өте төмен қоспалар, пленканың ластануын болдырмаңыз, пленка сапасын қамтамасыз етіңіз.

▪Жоғары тығыздық:жоғары тығыздық, жоғары механикалық беріктік, жоғары температура мен жоғары қысымды PECVD ортасына төтеп бере алады.

▪Жақсы өлшемдік тұрақтылық:процесс тұрақтылығын қамтамасыз ететін жоғары температурада шағын өлшемді өзгеріс.

▪Өте жақсы жылу өткізгіштік:вафлидің қызып кетуін болдырмау үшін жылуды тиімді тасымалдаңыз.

▪Күшті коррозияға төзімділік:әртүрлі коррозиялық газдар мен плазма әсерінен эрозияға төтеп бере алады.

▪Жекелеген қызмет:әр түрлі өлшемдегі және пішіндегі графитті қолдау кестелерін тұтынушы қажеттіліктеріне сәйкес реттеуге болады.

Өнімнің артықшылықтары

▪Фильм сапасын жақсарту:Біркелкі пленка тұндыруын қамтамасыз ету және пленка сапасын жақсарту.

▪Жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту:Тамаша коррозияға төзімділік, PECVD жабдығының қызмет ету мерзімін ұзартады.

▪Өндіріс шығындарын азайту:Жоғары сапалы графит науалары қалдықтарды азайтуға және өндіріс шығындарын азайтуға мүмкіндік береді.

SGL графит материалы:

Әдеттегі параметр: R6510
Индекс	Сынақ стандарты	Мән	Бірлік
Дәннің орташа мөлшері	ISO 13320	10	мкм
Көлемдік тығыздық	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Ашық кеуектілік	DIN66133	10	%
Кеуектің орташа мөлшері	DIN66133	1.8	мкм
Өткізгіштік	DIN 51935	0,06	см²/с
Роквелл қаттылығы HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Меншікті электр кедергісі	DIN IEC 60413/402	13	мкм
Иілу күші	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Қысу күші	DIN 51910	130	МПа
Янг модулі	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Термиялық кеңею (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Жылу өткізгіштік (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ол G12 үлкен өлшемді вафлиді өңдеуді қолдайтын жоғары тиімді күн батареяларын өндіру үшін арнайы жасалған. Оңтайландырылған тасымалдаушы дизайны өнімділікті айтарлықтай арттырады, бұл жоғары кірістілік көрсеткіштеріне және өндіріс шығындарын төмендетуге мүмкіндік береді.

Элемент	Түр	Вафельді тасымалдаушы нөмір
PEVCD Grephite қайығы - 156 сериясы	156-13 грефиттік қайық	144
	156-19 грефитті қайық	216
	156-21 грефиттік қайық	240
	156-23 графит қайық	308
PEVCD Grephite қайығы - 125 сериясы	125-15 грефиттік қайық	196
	125-19 грефитті қайық	252
	125-21 грфиттік қайық	280