CVD кремний карбиді жабынының дайындау әдістері мен өнімділік сипаттамалары қандай?

CVD (Химиялық будың тұндыру) кремний карбиді жабындарын дайындау үшін жиі қолданылатын әдіс.CVD кремний карбиді жабындарыкөптеген бірегей өнімділік сипаттамалары бар. Бұл мақалада CVD кремний карбиді жабынын дайындау әдісі және оның өнімділік сипаттамалары таныстырылады.

1. Дайындау әдісіCVD кремний карбиді жабыны

CVD әдісі жоғары температура жағдайында газ тәрізді прекурсорларды қатты кремний карбидті жабындарға айналдырады. Әртүрлі газ тәрізді прекурсорларға сәйкес оны газ фазасы CVD және сұйық фазалық CVD деп бөлуге болады.

1. Бу фазасы CVD

Бу фазасы CVD кремний карбиді қабықшаларының өсуіне қол жеткізу үшін газ тәрізді прекурсорларды, әдетте кремний органикалық қосылыстарын пайдаланады. Кеңінен қолданылатын кремнийорганикалық қосылыстарға газ тәрізді прекурсорларды жоғары температуралы реакция камераларына тасымалдау арқылы металл негіздерде кремний карбидті қабықшалар түзетін метилсилан, диметилсилан, моносилан және т.б. Реакция камерасындағы жоғары температура аймақтары әдетте индукциялық қыздыру немесе резистивті қыздыру арқылы пайда болады.

2. Сұйық фазалық CVD

Сұйық фазалық CVD сұйық прекурсорды, әдетте құрамында кремний және силанол қосылысы бар органикалық еріткішті пайдаланады, ол реакция камерасында қызады және буланады, содан кейін химиялық реакция арқылы субстратта кремний карбиді пленкасы пайда болады.

2. Өнімділік сипаттамаларыCVD кремний карбиді жабыны

1.Excellent жоғары температура өнімділігі

CVD кремний карбиді жабындарытамаша жоғары температура тұрақтылығын және тотығуға төзімділігін ұсынады. Ол жоғары температуралы ортада жұмыс істеуге қабілетті және жоғары температурада төтенше жағдайларға төтеп бере алады.

2. Жақсы механикалық қасиеттер

CVD кремний карбиді жабыныжоғары қаттылық пен жақсы тозуға төзімділігі бар. Ол металл негіздерді тозудан және коррозиядан қорғайды, материалдың қызмет ету мерзімін ұзартады.

3. Өте жақсы химиялық тұрақтылық

CVD кремний карбиді жабындарықышқылдар, сілтілер және тұздар сияқты қарапайым химиялық заттарға жоғары төзімді. Ол химиялық әсерге және субстрат коррозиясына қарсы тұрады.

4. Төмен үйкеліс коэффициенті

CVD кремний карбиді жабынытөмен үйкеліс коэффициенті және жақсы өзін-өзі майлау қасиеттері бар. Ол үйкеліс пен тозуды азайтады және материалды пайдалану тиімділігін арттырады.

5.Жақсы жылу өткізгіштік

CVD кремний карбиді жабыны жақсы жылу өткізгіштік қасиеттеріне ие. Ол жылуды тез өткізіп, металл негізінің жылуды тарату тиімділігін жақсарта алады.

6. Өте жақсы электр оқшаулау қасиеттері

CVD кремний карбиді жабыны жақсы электрлік оқшаулау қасиеттеріне ие және токтың ағып кетуіне жол бермейді. Ол электронды құрылғыларды оқшаулауды қорғауда кеңінен қолданылады.

7. Қалыңдығы мен құрамы реттелетін

CVD процесіндегі жағдайларды және прекурсордың концентрациясын бақылау арқылы кремний карбиді пленкасының қалыңдығы мен құрамын реттеуге болады. Бұл әртүрлі қолданбалар үшін көптеген опциялар мен икемділікті қамтамасыз етеді.

Қысқаша айтқанда, CVD кремний карбиді жабыны тамаша жоғары температуралық өнімділікке, тамаша механикалық қасиеттерге, жақсы химиялық тұрақтылыққа, төмен үйкеліс коэффициентіне, жақсы жылу өткізгіштікке және электр оқшаулау қасиеттеріне ие. Бұл қасиеттер CVD кремний карбиді жабындарын көптеген салаларда, соның ішінде электроника, оптика, аэроғарыш, химия өнеркәсібі және т.