Қытай өндірушісі SiC қапталған графит MOCVD эпитаксистік суссепторы

Қытай өндірушісі SiC қапталған графиті MOCVD эпитаксистік қабылдағыш Таңдаулы сурет

Қысқаша сипаттама:

Тазалық < 5ppm
‣ Жақсы допинг біркелкілігі
‣ Жоғары тығыздық және адгезия
‣ Жақсы коррозияға қарсы және көміртекті төзімділік

‣ Кәсіби теңшеу
‣ Қысқа мерзім
‣ Тұрақты жабдықтау
‣ Сапаны бақылау және үздіксіз жақсарту

Сапфирдегі GaN эпитаксисі(RGB/Mini/Micro LED);
Si субстратындағы GaN эпитаксисі(УКВ);
Si субстратындағы GaN эпитаксисі(Электрондық құрылғы);
Si субстратындағы Si эпитаксисі(Интегралды схема);
SiC субстратындағы SiC эпитаксисі(субстрат);
InP бойынша InP эпитаксисі

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз PDF ретінде жүктеп алыңыз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Жоғары сапалы MOCVD Susceptor Қытайда онлайн сатып алыңыз

Вафли электронды құрылғыларда пайдалануға дайын болу үшін бірнеше қадамдардан өтуі керек. Маңызды процесстердің бірі кремний эпитаксисі болып табылады, онда пластиналар графит қабылдағыштарында тасымалданады. Қабықшаның эпитаксиалды қабатының сапасына сусепторлардың қасиеттері мен сапасы шешуші әсер етеді.

Эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары үшін VET субстраттарды немесе «вафлилерді» қолдау үшін пайдаланылатын ультра таза графиттік жабдықты жеткізеді. Процестің негізінде бұл жабдық, эпитаксистік сенсорлар немесе MOCVD үшін спутниктік платформалар алдымен тұндыру ортасына ұшырайды:

Жоғары температура.
Жоғары вакуум.
Агрессивті газ тәрізді прекурсорларды қолдану.
Нөлдік ластану, пилингтің болмауы.
Тазалау жұмыстары кезінде күшті қышқылдарға төзімділік

VET Energy – жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік өнеркәсібіне арналған жабыны бар графит пен кремний карбидінен тапсырыс беруші өнімдердің нақты өндірушісі. Біздің техникалық команда отандық жетекші ғылыми-зерттеу институттарынан келеді, сізге кәсіби материалды шешімдерді ұсына алады.

Біз неғұрлым жетілдірілген материалдармен қамтамасыз ету үшін жетілдірілген процестерді үздіксіз дамытамыз және жабын мен субстрат арасындағы байланыстыруды тығыз және ажырауға бейімді ете алатын эксклюзивті патенттелген технологияны әзірледік.

Біздің өнімдеріміздің ерекшеліктері:

1. 1700℃ дейін жоғары температураның тотығуға төзімділігі.
2. Жоғары тазалық және жылу біркелкілігі
3. Коррозияға тамаша төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
4. Жоғары қаттылық, ықшам беті, ұсақ бөлшектер.
5. Қызмет ету мерзімі ұзағырақ және берік

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC негізгі физикалық қасиеттеріжабын
性质 / Меншік	典型数值 / Типтік мән
晶体结构 / Кристалл құрылымы	FCC β фазасы多晶，主要为（111）取向
密度 / Тығыздығы	3,21 г/см³
硬度 / Қаттылық	2500 维氏硬度（500г жүктеме）
晶粒大小 / Дән өлшемі	2~10мкм
纯度 / Химиялық тазалық	99,99995%
热容 / Жылу сыйымдылығы	640 Дж·кг^-1· Қ^-1
升华温度 / Сублимация температурасы	2700℃
抗弯强度 / Иілу күші	415 МПа RT 4-нүкте
杨氏模量 / Янг модулі	430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
导热系数 / ТермалӨткізгіштік	300Вт·м^-1· Қ^-1
热膨胀系数 / Жылулық кеңею (CTE)	4,5×10^-6K^-1