Өнімнің ерекшеліктері
· Өте жақсы жоғары температура өнімділік
PyC жабыны тығыз құрылым, тамаша ыстыққа төзімділік, жақсы жылу өткізгіштік және тозуға төзімділік ерекшеліктеріне ие. Екеуі де көміртекті элементтер болғандықтан, ол графитпен күшті адгезияға ие және көміртегі бөлшектерімен ластануды болдырмау үшін графит ішіндегі қалдық ұшпа заттарды тығыздай алады.
· Басқарылатын тазалық
PyC жабынының тазалығы 5 ppm деңгейіне жетуі мүмкін, бұл жоғары тазалықтағы спликациялардың тазалық талаптарына жауап береді.
· Ұзартылған қызмет өмір және жақсартылған өнім qерекшелігі
PyC жабыны графит құрамдас бөліктерінің қызмет ету мерзімін тиімді ұзартады және өнім сапасын жақсартады. осылайша тапсырыс берушінің өндіріс шығындарын тиімді түрде азайтады.
·Кең диапазон of қолданбалар
PyC жабыны негізінен Si/SiC жартылай өткізгіш кристалының өсуі, ионды имплантациялау, жартылай өткізгіштер үшін металл балқыту және инструменттік талдау сияқты жоғары температуралы өрістерде қолданылады.
Өнім Техникалық сипаттамалар
Әдеттегі өнімділік | Бірлік | Техникалық сипаттама |
Кристалл құрылымы | Алтыбұрышты | |
Туралау | 0001 бағыты бойынша бағдарланған немесе бағдарланбаған | |
Көлемді тығыздық | г/см³ | -2,24 |
Микроқұрылым | Поликристалды/көпқабатты графен | |
Қаттылық | GPa | 1.1 |
Серпімді модуль | GPa | 10 |
Типтік қалыңдығы | мкм | 30-100 |
Бетінің кедір-бұдырлығы | мкм | 1.5 |
Өнімнің тазалығы | ppm | ≤5ppm |