ЖетілдірілгенSiC Консольдық қалақvet-china жасаған Wafer Processing үшін жартылай өткізгіштерді өндіру үшін тамаша шешім ұсынады. Бұл консольдық қалақ SiC (кремний карбиді) материалынан жасалған және оның жоғары қаттылығы мен ыстыққа төзімділігі жоғары температура мен коррозиялық ортада тамаша өнімділікті сақтауға мүмкіндік береді. Консоль қалақшасының дизайны пластинаны өңдеу кезінде сенімді түрде қолдауға мүмкіндік береді, бұл фрагментация мен зақымдану қаупін азайтады.
SiC Консольдық қалақтотығу пеші, диффузиялық пеш және күйдіру пеші сияқты жартылай өткізгішті өндіру жабдықтарында қолданылатын мамандандырылған құрамдас бөлік болып табылады, негізгі пайдалану пластинаны тиеу және түсіру үшін, жоғары температуралық процестер кезінде пластиналарды ұстап тұрады және тасымалдайды.
Жалпы құрылымдарныңSiCcантилеверpадл: консольдық құрылым, бір шетінде бекітілген және екінші жағында бос, әдетте тегіс және қалақ тәрізді дизайнға ие.
VET Energy сапаға кепілдік беру үшін жоғары таза қайта кристалданған кремний карбиді материалдарын пайдаланады.
| Қайта кристалданған кремний карбидінің физикалық қасиеттері | |
| Меншік | Типтік мән |
| Жұмыс температурасы (°C) | 1600°C (оттегімен), 1700°C (тотықсыздандыратын орта) |
| SiC мазмұны | > 99,96% |
| Тегін Si мазмұны | < 0,1% |
| Көлемдік тығыздық | 2,60-2,70 г/см3 |
| Көрінетін кеуектілік | < 16% |
| Қысу күші | > 600МПа |
| Суық иілу күші | 80-90 МПа (20°C) |
| Ыстық иілу күші | 90-100 МПа (1400°C) |
| Термиялық кеңею @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Жылу өткізгіштік @1200°C | 23Вт/м•К |
| Серпімділік модулі | 240 ГПа |
| Термиялық соққыға төзімділік | Өте жақсы |
Вафельді өңдеуге арналған VET Energy Advanced SiC Консоль қалақшасының артықшылықтары:
-Жоғары температура тұрақтылығы: 1600°C жоғары ортада қолдануға болады;
-Төмен термиялық кеңею коэффициенті: өлшемді тұрақтылықты сақтайды, пластинаның деформациялану қаупін азайтады;
-Жоғары тазалық: металдың ластану қаупі аз;
-Химиялық инерттілігі: коррозияға төзімді, әртүрлі газ орталарына жарамды;
-Жоғары беріктік пен қаттылық: Тозуға төзімді, ұзақ қызмет ету мерзімі;
-Жақсы жылу өткізгіштік: вафельді біркелкі қыздыруға көмектеседі.
