სილიკონის კარბიდი (SiC) ეპიტაქსიალური ვაფლი

მოკლე აღწერა:

სილიკონის კარბიდის (SiC) ეპიტაქსიალური ვაფლი VET Energy-სგან არის მაღალი ხარისხის სუბსტრატი, რომელიც შექმნილია შემდეგი თაობის დენის და RF მოწყობილობების მოთხოვნილებების დასაკმაყოფილებლად. VET Energy უზრუნველყოფს, რომ თითოეული ეპიტაქსიალური ვაფლი ზედმიწევნით დამზადდეს, რათა უზრუნველყოს უმაღლესი თბოგამტარობა, ავარიის ძაბვა და გადამზიდის მობილურობა, რაც მას იდეალურს ხდის ისეთი აპლიკაციებისთვის, როგორიცაა ელექტრო მანქანები, 5G კომუნიკაცია და მაღალი ეფექტურობის ელექტრონიკა.


პროდუქტის დეტალი

პროდუქტის ტეგები

VET Energy სილიციუმის კარბიდის (SiC) ეპიტაქსიალური ვაფლი არის მაღალი ეფექტურობის ფართო ზოლიანი ნახევარგამტარული მასალა შესანიშნავი მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობის, მაღალი სიხშირის და მაღალი სიმძლავრის მახასიათებლებით. ეს არის იდეალური სუბსტრატი ახალი თაობის ელექტრო ელექტრო მოწყობილობებისთვის. VET Energy იყენებს მოწინავე MOCVD ეპიტაქსიალურ ტექნოლოგიას SiC სუბსტრატებზე მაღალი ხარისხის SiC ეპიტაქსიალური ფენების გასაზრდელად, რაც უზრუნველყოფს ვაფლის შესანიშნავი შესრულებას და თანმიმდევრულობას.

ჩვენი სილიკონის კარბიდის (SiC) ეპიტაქსიალური ვაფლი გთავაზობთ შესანიშნავ თავსებადობას სხვადასხვა ნახევარგამტარულ მასალებთან, მათ შორის Si ვაფლთან, SiC სუბსტრატთან, SOI ვაფლთან და SiN სუბსტრატთან. თავისი ძლიერი ეპიტაქსიალური ფენით, ის მხარს უჭერს მოწინავე პროცესებს, როგორიცაა Epi ვაფლის ზრდა და ინტეგრაცია მასალებთან, როგორიცაა Gallium Oxide Ga2O3 და AlN Wafer, რაც უზრუნველყოფს მრავალმხრივ გამოყენებას სხვადასხვა ტექნოლოგიებში. შექმნილია ინდუსტრიის სტანდარტის კასეტების მართვის სისტემებთან თავსებადობისთვის, ის უზრუნველყოფს ეფექტურ და გამარტივებულ ოპერაციებს ნახევარგამტარების დამზადების გარემოში.

VET Energy-ს პროდუქციის ხაზი არ შემოიფარგლება მხოლოდ SiC ეპიტაქსიალური ვაფლებით. ჩვენ ასევე გთავაზობთ ნახევარგამტარული სუბსტრატის მასალების ფართო სპექტრს, მათ შორის Si Wafer, SiC სუბსტრატი, SOI ვაფლი, SiN სუბსტრატი, Epi Wafer და ა. ვაფლი, რათა დააკმაყოფილოს მომავალი ენერგეტიკული ელექტრონიკის ინდუსტრიის მოთხოვნა უფრო მაღალი ხარისხის მოწყობილობებზე.

第6页-36
第6页-35

ვაფერინგის სპეციფიკაციები

*n-Pm=n-ტიპის Pm-Grade,n-Ps=n-ტიპის Ps-Grade,Sl=ნახევრად საიზოლაციო

ელემენტი

8-ინჩი

6-ინჩი

4-ინჩი

nP

n-pm

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤6 მმ

≤6 მმ

მშვილდი (GF3YFCD) - აბსოლუტური მნიშვნელობა

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Warp (GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV (SBIR) - 10 მმ x 10 მმ

<2μm

ვაფლის ზღვარი

ბეველირება

ზედაპირის დასრულება

*n-Pm=n-ტიპის Pm-Grade,n-Ps=n-ტიპის Ps-Grade,Sl=ნახევრად საიზოლაციო

ელემენტი

8-ინჩი

6-ინჩი

4-ინჩი

nP

n-pm

n-Ps

SI

SI

ზედაპირის დასრულება

ორმხრივი ოპტიკური პოლონური, Si- Face CMP

ზედაპირის უხეშობა

(10მმ x 10მმ) Si-FaceRa≤0.2ნმ
C-Face Ra≤ 0.5nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-Face Ra≤0.5nm

Edge Chips

არ არის ნებადართული (სიგრძე და სიგანე≥0,5 მმ)

შეწევა

არ არის ნებადართული

ნაკაწრები (Si-Face)

რაოდენობა.≤5, კუმულაციური
სიგრძე≤0,5×ვაფლის დიამეტრი

რაოდენობა.≤5, კუმულაციური
სიგრძე≤0,5×ვაფლის დიამეტრი

რაოდენობა.≤5, კუმულაციური
სიგრძე≤0,5×ვაფლის დიამეტრი

ბზარები

არ არის ნებადართული

კიდეების გამორიცხვა

3 მმ

tech_1_2_size
下载 (2)

  • წინა:
  • შემდეგი:

  • WhatsApp ონლაინ ჩატი!