VET Energy სილიციუმის კარბიდის (SiC) ეპიტაქსიალური ვაფლი არის მაღალი ეფექტურობის ფართო ზოლიანი ნახევარგამტარული მასალა შესანიშნავი მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობის, მაღალი სიხშირის და მაღალი სიმძლავრის მახასიათებლებით. ეს არის იდეალური სუბსტრატი ახალი თაობის ელექტრო ელექტრო მოწყობილობებისთვის. VET Energy იყენებს მოწინავე MOCVD ეპიტაქსიალურ ტექნოლოგიას SiC სუბსტრატებზე მაღალი ხარისხის SiC ეპიტაქსიალური ფენების გასაზრდელად, რაც უზრუნველყოფს ვაფლის შესანიშნავი შესრულებას და თანმიმდევრულობას.
ჩვენი სილიკონის კარბიდის (SiC) ეპიტაქსიალური ვაფლი გთავაზობთ შესანიშნავ თავსებადობას სხვადასხვა ნახევარგამტარულ მასალებთან, მათ შორის Si ვაფლთან, SiC სუბსტრატთან, SOI ვაფლთან და SiN სუბსტრატთან. თავისი ძლიერი ეპიტაქსიალური ფენით, ის მხარს უჭერს მოწინავე პროცესებს, როგორიცაა Epi ვაფლის ზრდა და ინტეგრაცია მასალებთან, როგორიცაა Gallium Oxide Ga2O3 და AlN Wafer, რაც უზრუნველყოფს მრავალმხრივ გამოყენებას სხვადასხვა ტექნოლოგიებში. შექმნილია ინდუსტრიის სტანდარტის კასეტების მართვის სისტემებთან თავსებადობისთვის, ის უზრუნველყოფს ეფექტურ და გამარტივებულ ოპერაციებს ნახევარგამტარების დამზადების გარემოში.
VET Energy-ს პროდუქციის ხაზი არ შემოიფარგლება მხოლოდ SiC ეპიტაქსიალური ვაფლებით. ჩვენ ასევე გთავაზობთ ნახევარგამტარული სუბსტრატის მასალების ფართო სპექტრს, მათ შორის Si Wafer, SiC სუბსტრატი, SOI ვაფლი, SiN სუბსტრატი, Epi Wafer და ა. ვაფლი, რათა დააკმაყოფილოს მომავალი ენერგეტიკული ელექტრონიკის ინდუსტრიის მოთხოვნა უფრო მაღალი ხარისხის მოწყობილობებზე.
ვაფერინგის სპეციფიკაციები
*n-Pm=n-ტიპის Pm-Grade,n-Ps=n-ტიპის Ps-Grade,Sl=ნახევრად საიზოლაციო
ელემენტი | 8-ინჩი | 6-ინჩი | 4-ინჩი | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6 მმ | ≤6 მმ | |||
მშვილდი (GF3YFCD) - აბსოლუტური მნიშვნელობა | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) - 10 მმ x 10 მმ | <2მკმ | ||||
ვაფლის ზღვარი | ბეველირება |
ზედაპირის დასრულება
*n-Pm=n-ტიპის Pm-Grade,n-Ps=n-ტიპის Ps-Grade,Sl=ნახევრად საიზოლაციო
ელემენტი | 8-ინჩი | 6-ინჩი | 4-ინჩი | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
ზედაპირის დასრულება | ორმხრივი ოპტიკური პოლონური, Si- Face CMP | ||||
ზედაპირის უხეშობა | (10მმ x 10მმ) Si-FaceRa≤0.2ნმ | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Edge Chips | არ არის ნებადართული (სიგრძე და სიგანე≥0,5 მმ) | ||||
შეწევა | არ არის ნებადართული | ||||
ნაკაწრები (Si-Face) | რაოდენობა.≤5, კუმულაციური | რაოდენობა.≤5, კუმულაციური | რაოდენობა.≤5, კუმულაციური | ||
ბზარები | არ არის ნებადართული | ||||
კიდეების გამორიცხვა | 3 მმ |