VET ენერგიაPECVD პროცესის გრაფიტის მატარებელი არის მაღალი ხარისხის სახარჯო მასალა, რომელიც მორგებულია PECVD (პლაზმის გაძლიერებული ქიმიური ორთქლის დეპონირების) პროცესისთვის. ეს გრაფიტის მატარებელი დამზადებულია მაღალი სისუფთავის, მაღალი სიმკვრივის გრაფიტის მასალისგან, შესანიშნავი მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობით, კოროზიის წინააღმდეგობით, განზომილებიანი სტაბილურობით და სხვა მახასიათებლებით, შეუძლია უზრუნველყოს სტაბილური გადამზიდავი პლატფორმა PECVD პროცესისთვის, რათა უზრუნველყოს თხელი ფილმის ერთგვაროვნება და სიბრტყე. დეპონირება.
PECVD პროცესისთვის გრაფიტის მატარებლებს აქვთ შემდეგი მახასიათებლები:
▪ მაღალი სისუფთავე: მინარევების უკიდურესად დაბალი შემცველობა, ფილმის დაბინძურების თავიდან აცილება და ფილმის ხარისხის უზრუნველყოფა.
▪ მაღალი სიმკვრივე: მაღალი სიმკვრივე, მაღალი მექანიკური სიმტკიცე, შეუძლია გაუძლოს მაღალ ტემპერატურასა და მაღალი წნევის PECVD გარემოს.
▪ კარგი განზომილებიანი სტაბილურობა: მცირე განზომილებიანი ცვლილება მაღალ ტემპერატურაზე, რაც უზრუნველყოფს პროცესის სტაბილურობას.
▪ შესანიშნავი თბოგამტარობა: ეფექტურად გადასცემს სითბოს ვაფლის გადახურების თავიდან ასაცილებლად.
▪ ძლიერი კოროზიის წინააღმდეგობა: შეუძლია წინააღმდეგობა გაუწიოს სხვადასხვა კოროზიული აირების და პლაზმის ეროზიას.
▪ მორგებული სერვისი: სხვადასხვა ზომის და ფორმის გრაფიტის მატარებლების მორგება შესაძლებელია მომხმარებლის მოთხოვნილებების შესაბამისად.
გრაფიტის მასალა SGL-დან:
ტიპიური პარამეტრი: R6510 | |||
ინდექსი | ტესტის სტანდარტი | ღირებულება | ერთეული |
მარცვლის საშუალო ზომა | ISO 13320 | 10 | მმ |
ნაყარი სიმკვრივე | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | გ/სმ3 |
ღია ფორიანობა | DIN66133 | 10 | % |
ფორების საშუალო ზომა | DIN66133 | 1.8 | მმ |
გამტარიანობა | DIN 51935 | 0.06 | სმ²/წმ |
როკველის სიმტკიცე HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
სპეციფიური ელექტრული წინაღობა | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
მოქნილობის სიმტკიცე | DIN IEC 60413/501 | 60 | მპა |
კომპრესიული ძალა | DIN 51910 | 130 | მპა |
იანგის მოდული | DIN 51915 | 11,5×10³ | მპა |
თერმული გაფართოება (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
თბოგამტარობა (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ის სპეციალურად შექმნილია მზის უჯრედების მაღალი ეფექტურობის წარმოებისთვის, G12 დიდი ზომის ვაფლის დამუშავების მხარდაჭერით. გადამზიდის ოპტიმიზებული დიზაინი მნიშვნელოვნად ზრდის გამტარუნარიანობას, რაც საშუალებას იძლევა უფრო მაღალი მოსავლიანობის მაჩვენებლები და დაბალი წარმოების ხარჯები.
ელემენტი | ტიპი | ნომრის ვაფლის გადამზიდავი |
PEVCD Grephite ნავი - 156 სერია | 156-13 გრეფიტის ნავი | 144 |
156-19 გრეფიტის ნავი | 216 | |
156-21 გრეფიტის ნავი | 240 | |
156-23 გრაფიტის ნავი | 308 | |
PEVCD Grephite ნავი - 125 სერია | 125-15 გრეფიტის ნავი | 196 |
125-19 გრეფიტის ნავი | 252 | |
125-21 გრფიტის ნავი | 280 |