VET Energy silicon carbide (SiC) wafer epitaxial minangka bahan semikonduktor pita lebar kanthi kinerja dhuwur kanthi resistensi suhu dhuwur, frekuensi dhuwur lan karakteristik daya dhuwur. Iku landasan becik kanggo generasi anyar saka piranti elektronik daya. VET Energy nggunakake teknologi epitaxial MOCVD majeng kanggo tuwuh lapisan epitaxial SiC sing berkualitas tinggi ing substrat SiC, njamin kinerja lan konsistensi wafer sing apik banget.
Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer nawakake kompatibilitas banget karo macem-macem bahan semikonduktor kalebu Si Wafer, SiC Substrat, SOI Wafer, lan SiN Substrat. Kanthi lapisan epitaxial sing kuat, ndhukung proses maju kayata Epi Wafer wutah lan integrasi karo bahan kaya Gallium Oxide Ga2O3 lan AlN Wafer, njamin panggunaan serbaguna ing macem-macem teknologi. Dirancang supaya kompatibel karo sistem penanganan Kaset standar industri, njamin operasi sing efisien lan efisien ing lingkungan fabrikasi semikonduktor.
Garis produk VET Energy ora diwatesi ing wafer epitaxial SiC. Kita uga nyedhiyakake macem-macem bahan substrat semikonduktor, kalebu Si Wafer, SiC Substrat, SOI Wafer, SiN Substrat, Epi Wafer, lan liya-liyane. Wafer, kanggo nyukupi panjaluk industri elektronik daya ing mangsa ngarep kanggo piranti kinerja sing luwih dhuwur.
SPESIFIKASI WAFERING
*n-Pm=n-jenis Pm-Grade,n-Ps=n-jenis Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating
Item | 8-inci | 6-Inci | 4-Inci | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Gandhewo (GF3YFCD) -Nilai Absolute | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
LUWIH RAPI
*n-Pm=n-jenis Pm-Grade,n-Ps=n-jenis Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating
Item | 8-inci | 6-Inci | 4-Inci | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Lumahing Rampung | Poles Optik sisih pindho, Si- Face CMP | ||||
Kekasaran lumahing | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Kripik pinggir | Ora ana sing diidini (dawa lan jembar ≥0.5mm) | ||||
Indentasi | Ora ana sing diidini | ||||
Goresan (Si-Face) | Qty.≤5, Kumulatif | Qty.≤5, Kumulatif | Qty.≤5, Kumulatif | ||
Retak | Ora ana sing diidini | ||||
Pangecualian Edge | 3 mm |