RTP / RTA SiC Coating Carrier kanggo MOCVD Epitaxial Wutah

Katrangan singkat:

VET Energy RTP / RTA SiC Coating Carrier minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Nduwe resistensi panas sing apik banget lan keseragaman termal, kemurnian dhuwur, tahan erosi, dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.


  • Panggonan Asal:Cina
  • Struktur kristal:fase FCCβ
  • Kapadhetan:3,21 g/cm
  • kekerasan:2500 Vickers
  • Ukuran gandum:2~10μm
  • Kemurnian Kimia:99.99995%
  • Kapasitas panas:640J·kg-1·K-1
  • Suhu sublimasi:2700 ℃
  • Kekuwatan Felexural:415 Mpa (RT 4-Point)
  • Modulus Muda:430 Gpa (4pt bend, 1300 ℃)
  • Thermal Expansion (CTE):4.5 10-6K-1
  • Konduktivitas termal:300(W/MK)
  • Detail Produk

    Tag produk

    SiC Coating Carrier Kanggo RTP / RTA minangka komponen kunci sing digunakake ing proses manufaktur semikonduktor sing diarani Rapid Thermal Processing & Annealing, kita nggunakake teknologi paten kanggo nggawe operator silikon karbida kanthi kemurnian sing dhuwur banget, keseragaman lapisan sing apik lan umur layanan sing apik, minangka uga tahan kimia dhuwur lan sifat stabilitas termal.

    Fitur produk kita:

    1. Resistance oksidasi suhu dhuwur nganti 1700 ℃.
    2. Kemurnian dhuwur lan keseragaman termal
    3. Resistensi korosi sing apik: reagen asam, alkali, uyah lan organik.

    4. kekerasan dhuwur, lumahing kompak, partikel alus.
    5. Urip layanan luwih dawa lan luwih awet

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Sifat fisik dhasar saka CVD SiClapisan

    性质 / Properti

    典型数值 / Nilai khas

    晶体结构 / Struktur Kristal

    Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

    密度 / Kapadhetan

    3,21 g/cm³

    硬度 / Kekerasan

    2500 维氏硬度(500g beban)

    晶粒大小 / Ukuran Gandum

    2~10μm

    纯度 / Kemurnian Kimia

    99.99995%

    热容 / Kapasitas panas

    640 J·kg-1· K-1

    升华温度 / Suhu Sublimasi

    2700 ℃

    抗弯强度 / Kekuwatan lentur

    415 MPa RT 4-titik

    杨氏模量 / Modulus Muda

    430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃

    导热系数 / ThermalKonduktivitas

    300W·m-1· K-1

    热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy minangka pabrikan nyata produk grafit lan silikon karbida sing disesuaikan kanthi macem-macem lapisan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan sapiturute, bisa nyedhiyakake macem-macem bagean khusus kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik.

    Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik ndhuwur, bisa menehi solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.

    Kita terus-terusan ngembangake proses maju kanggo nyedhiyakake bahan sing luwih maju, lan wis ngupayakake teknologi paten sing eksklusif, sing bisa nggawe ikatan antarane lapisan lan landasan luwih kenceng lan kurang rentan kanggo detasemen.

    Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo diskusi luwih lanjut!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Sadurunge:
  • Sabanjure:

  • Chat Online WhatsApp!