Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor kanggo LED Etching

Katrangan singkat:

Susceptor silikon karbida kanggo LED etching (SiC tray) minangka aksesoris khusus kanggo etsa silikon jero (mesin etsa ICP). operator wafer, uga dikenal minangka operator wafer, operator wafer silikon, uga dikenal minangka wafer saku. Digunakake digunakake ing CVD semikonduktor lan sputtering vakum.


Detail Produk

Tag produk

Silicon karbida ditutupi susceptor punikaa kuncinekomponen digunakake ing macem-macem proses Manufaktur semikonduktor.Kita nggunakake teknologi paten kanggo nggawe susceptor dilapisi silikon karbidakemurnian sing dhuwur banget,apiklapisankeseragamanlan urip layanan banget, ugiresistance kimia dhuwur lan sifat stabilitas termal.

VET Energy punika ingProdusen nyata produk grafit lan silikon karbida khusus kanthi lapisan CVD,bisa nyedhiyakakemacem-macembagean selaras kanggo industri semikonduktor lan photovoltaic. Otim teknis ur asalé saka institusi riset domestik ndhuwur, bisa nyedhiyani solusi materi luwih profesionalkanggo sampeyan.

Kita terus-terusan ngembangake proses maju kanggo nyedhiyakake bahan sing luwih maju,lanwis makarya metu teknologi paten eksklusif, kang bisa nggawe iketan antarane nutupi lan landasan tighter lan kurang rawan kanggo detasemen.

Features produk kita:

1. Resistance oksidasi suhu dhuwur nganti 1700.
2. Kemurnian dhuwur lankeseragaman termal
3. Resistensi korosi sing apik: reagen asam, alkali, uyah lan organik.
4. kekerasan dhuwur, lumahing kompak, partikel alus.
5. Urip layanan luwih dawa lan luwih awet

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dhasar saka CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadhetan

3,21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Gandum

2~10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas panas

640 J·kg-1· K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700 ℃

抗弯强度 / Kekuwatan lentur

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Modulus Muda

430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃

导热系数 / ThermalKonduktivitas

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo diskusi luwih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Sadurunge:
  • Sabanjure:

  • Chat Online WhatsApp!