מנשא ציפוי SiC עבור RTP/RTA הוא מרכיב מפתח המשמש בתהליכי ייצור מוליכים למחצה הנקראים Rapid Thermal Processing & Annealing, אנו משתמשים בטכנולוגיית הפטנט שלנו כדי להפוך את מנשא הסיליקון קרביד עם טוהר גבוה במיוחד, אחידות ציפוי טובה וחיי שירות מצוינים, כמו כמו גם עמידות כימית גבוהה ותכונות יציבות תרמית.
תכונות של המוצרים שלנו:
1. עמידות חמצון בטמפרטורה גבוהה עד 1700℃.
2. טוהר גבוה ואחידות תרמית
3. עמידות בפני קורוזיה מצוינת: חומצה, אלקלי, מלח וריאגנטים אורגניים.
4. קשיות גבוהה, משטח קומפקטי, חלקיקים עדינים.
5. חיי שירות ארוכים יותר ועמידים יותר
| CVD SiC薄膜基本物理性能 תכונות פיזיקליות בסיסיות של CVD SiCשִׁכבָה | |
| 性质 / רכוש | 典型数值 / ערך טיפוסי |
| 晶体结构 / מבנה קריסטל | שלב β של FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / צפיפות | 3.21 גרם/ס"מ³ |
| 硬度 / קשיות | 2500 维氏硬度（עומס של 500 גרם） |
| 晶粒大小 / גודל תבואה | 2~10 מיקרומטר |
| 纯度 / טוהר כימי | 99.99995% |
| 热容 / קיבולת חום | 640 ג'ק"ג-1·ק-1 |
| 升华温度 / טמפרטורת סובלימציה | 2700℃ |
| 抗弯强度 / חוזק כיפוף | 415 MPa RT 4 נקודות |
| 杨氏模量 / מודולוס של יאנג | עיקול 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| 导热系数 / Thermaלמוֹלִיכוּת | 300W·m-1·ק-1 |
| 热膨胀系数 / התרחבות תרמית (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy היא היצרנית האמיתית של מוצרי גרפיט וסיליקון קרביד מותאמים אישית עם ציפויים שונים כמו ציפוי SiC, ציפוי TaC, ציפוי פחמן זגוגי, ציפוי פחמן פירוליטי וכו', יכולה לספק חלקים מותאמים אישית שונים לתעשיית מוליכים למחצה ופוטו-וולטאיים.
הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, יכול לספק פתרונות חומר מקצועיים יותר עבורך.
אנו מפתחים ללא הרף תהליכים מתקדמים לאספקת חומרים מתקדמים יותר, ופיתחנו טכנולוגיית פטנט בלעדית, שיכולה להפוך את ההדבקה בין הציפוי למצע להדוקה יותר ולפחות נוטה להתנתקות.
מברכים אותך בחום לבקר במפעל שלנו, בואו ננהל דיון נוסף!
