ניתן להכין ציפוי SiC על ידי שקיעת אדים כימית (CVD), טרנספורמציה מבשר, ריסוס פלזמה וכו'. הציפוי שהוכן על ידי שקיעת אדים CHEMICAL הוא אחיד וקומפקטי, ובעל יכולת עיצוב טובה. שימוש במתיל טריכלוסילאן. (CHzSiCl3, MTS) כמקור סיליקון, ציפוי SiC מכין...
קרא עוד