מנשא גרפיט MOCVD עם ציפוי CVD SiC

תיאור קצר:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor הוא מוצר בעל ביצועים גבוהים שנועד לספק ביצועים עקביים ואמינים לאורך תקופה ממושכת. יש לו עמידות חום ואחידות תרמית טובה במיוחד, טוהר גבוה, עמידות בפני שחיקה, מה שהופך אותו לפתרון המושלם ליישומי עיבוד פרוסות.

 


פירוט המוצר

תגיות מוצר

קולט גרפיט מצופה SiC הוא מרכיב מפתח בשימוש בתהליכי ייצור מוליכים למחצה שונים. אנו משתמשים בטכנולוגיה המוגנת בפטנט שלנו כדי להפוך את הסוסצפטור לטוהר גבוה במיוחד, אחידות ציפוי טובה וחיי שירות מצוינים, כמו גם עמידות כימית גבוהה ותכונות יציבות תרמית.

6

תכונות של המוצרים שלנו:

1. עמידות חמצון בטמפרטורה גבוהה עד 1700℃.
2. טוהר גבוה ואחידות תרמית
3. עמידות בפני קורוזיה מצוינת: חומצה, אלקלי, מלח וריאגנטים אורגניים.

4. קשיות גבוהה, משטח קומפקטי, חלקיקים עדינים.
5. חיי שירות ארוכים יותר ועמידים יותר

CVD SiC薄膜基本物理性能

תכונות פיזיקליות בסיסיות של CVD SiCשִׁכבָה

性质 / רכוש

典型数值 / ערך טיפוסי

晶体结构 / מבנה קריסטל

שלב β של FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / צפיפות

3.21 גרם/ס"מ³

硬度 / קשיות

2500 维氏硬度(עומס של 500 גרם)

晶粒大小 / גודל תבואה

2~10 מיקרומטר

纯度 / טוהר כימי

99.99995%

热容 / קיבולת חום

640 ג'ק"ג-1·ק-1

升华温度 / טמפרטורת סובלימציה

2700℃

抗弯强度 / חוזק כיפוף

415 MPa RT 4 נקודות

杨氏模量 / מודולוס של יאנג

עיקול 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / Thermaלמוֹלִיכוּת

300W·m-1·ק-1

热膨胀系数 / התרחבות תרמית (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

VET Energy היא היצרנית האמיתית של מוצרי גרפיט וסיליקון קרביד מותאמים אישית עם ציפויים שונים כמו ציפוי SiC, ציפוי TaC, ציפוי פחמן זגוגי, ציפוי פחמן פירוליטי וכו', יכולה לספק חלקים מותאמים אישית שונים לתעשיית מוליכים למחצה ופוטו-וולטאיים.

הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, יכול לספק פתרונות חומר מקצועיים יותר עבורך.

אנו מפתחים ללא הרף תהליכים מתקדמים לאספקת חומרים מתקדמים יותר, ופיתחנו טכנולוגיית פטנט בלעדית, שיכולה להפוך את ההדבקה בין הציפוי למצע להדוקה יותר ולפחות נוטה להתנתקות.

מברכים אותך בחום לבקר במפעל שלנו, בואו ננהל דיון נוסף!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • קוֹדֵם:
  • הַבָּא:

  • WhatsApp צ'אט מקוון!