VET Energyמנשא גרפיט בתהליך PECVD הוא חומר מתכלה באיכות גבוהה המותאם לתהליך PECVD (השקעת אדים כימית משופרת בפלזמה). מנשא גרפיט זה עשוי מחומר גרפיט בעל טוהר גבוה וצפיפות גבוהה, עם עמידות מצוינת בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, יציבות מימדית ומאפיינים אחרים, יכול לספק פלטפורמת מנשא יציבה לתהליך PECVD, כדי להבטיח את האחידות והשטוחות של סרט דק. תַצהִיר.
לנשאי גרפיט לתהליך PECVD יש את המאפיינים הבאים:
▪ טוהר גבוה: תכולת טומאה נמוכה במיוחד, מניעת זיהום הסרט והבטחת איכות הסרט.
▪ צפיפות גבוהה: צפיפות גבוהה, חוזק מכני גבוה, מסוגל לעמוד בטמפרטורה גבוהה ובלחץ גבוה סביבת PECVD.
▪ יציבות מימדית טובה: שינוי ממדי קטן בטמפרטורה גבוהה, המבטיח יציבות תהליך.
▪ מוליכות תרמית מעולה: העברת חום ביעילות למניעת התחממות יתר של פרוסות.
▪ עמידות בפני קורוזיה חזקה: מסוגלת לעמוד בפני שחיקה על ידי גזים קורוזיביים ופלזמה שונים.
▪ שירות מותאם אישית: ניתן להתאים מנשאי גרפיט בגדלים וצורות שונות בהתאם לצרכי הלקוח.
חומר גרפיט מ-SGL:
| פרמטר אופייני: R6510 | |||
| מַדָד | תקן בדיקה | עֵרֶך | יְחִידָה |
| גודל גרגר ממוצע | ISO 13320 | 10 | מיקרומטר |
| צפיפות נפח | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | גרם/ס"מ3 |
| נקבוביות פתוחה | DIN66133 | 10 | % |
| גודל נקבוביות בינוני | DIN66133 | 1.8 | מיקרומטר |
| חֲדִירוּת | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| קשיות Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| התנגדות חשמלית ספציפית | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| חוזק כפיפה | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| חוזק לחיצה | DIN 51910 | 130 | MPa |
| מודולוס יאנג | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| התפשטות תרמית (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| מוליכות תרמית (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
הוא תוכנן במיוחד לייצור תאים סולאריים ביעילות גבוהה, ותומך בעיבוד פרוסות G12 בגודל גדול. עיצוב מנשא אופטימלי מגדיל באופן משמעותי את התפוקה, ומאפשר שיעורי תפוקה גבוהים יותר ועלויות ייצור נמוכות יותר.
| פָּרִיט | סוּג | מנשא פרוסות מספר |
| סירת PEVCD Grephite - סדרת 156 | סירת גרפיט 156-13 | 144 |
| סירת גרפיט 156-19 | 216 | |
| סירת גרפיט 156-21 | 240 | |
| סירת גרפיט 156-23 | 308 | |
| סירת PEVCD Grephite - סדרת 125 | סירת גרפיט 125-15 | 196 |
| סירת גרפיט 125-19 | 252 | |
| סירת גרפיט 125-21 | 280 |
