Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor
Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorהוא מכשיר תמיכה וחימום שתוכנן במיוחד המשמש לאחיזה ולחימום מצעים של מוליכים למחצה במהלך תהליכי ייצור כמו תהליכי Deposition או Epitaxy.
המבנה שלו כולל בדרך כלל גלילי או מעט בצורת חבית, משטח כולל כיסים מרובים או פלטפורמות להנחת פרוסות, יכול להיות עיצוב מוצק או חלול, בהתאם לשיטת החימום.
הפונקציות העיקריות של קולט הקנה האפיטקסיאלי:
-תמיכה במצע: מחזיק בצורה מאובטחת פרוסות מוליכים למחצה מרובות;
-מקור חום: מספק טמפרטורות גבוהות הנדרשות לצמיחה באמצעות חימום;
-אחידות טמפרטורה: מבטיחה חימום אחיד של מצעים;
-סיבוב: מסתובב בדרך כלל במהלך הצמיחה כדי לשפר את אחידות חלוקת הטמפרטורה והגז.
עקרון העבודה של קולט חבית גרפיט Epi:
- בכור האפיטקסיאלי, קולט החבית מחומם לטמפרטורה הנדרשת (בדרך כלל 1000℃-1200℃ לאפיטקסיה סיליקון);
-קולט החבית מסתובב כדי להבטיח חלוקת טמפרטורה אחידה וזרימת גז;
-גזי תגובה מתפרקים בטמפרטורות גבוהות, ויוצרים שכבות אפיטקסיאליות על פני המצע.
יישומים:
-משמש בעיקר לגידול אפיטקסיאלי סיליקון
-מתאים גם לאפיטקסיה של חומרים מוליכים למחצה אחרים כמו GaAs, InP וכו '.
VET Energy משתמשת בגרפיט טוהר גבוה עם ציפוי CVD-SiC כדי לשפר את היציבות הכימית:
היתרונות של VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:
-יציבות בטמפרטורה גבוהה;
-אחידות תרמית טובה;
-יכול לעבד מספר מצעים בו זמנית, לשפר את יעילות הייצור;
-אינרטי מבחינה כימית, שמירה על סביבת גידול בטוהר גבוה.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd הוא מיזם היי-טק המתמקד בייצור ומכירה של חומרים מתקדמים ברמה גבוהה, החומרים והטכנולוגיה לרבות גרפיט, סיליקון קרביד, קרמיקה, טיפול פני השטח כמו ציפוי SiC, ציפוי TaC, פחמן זגוגי ציפוי, ציפוי פחמן פירוליטי וכו', מוצרים אלה נמצאים בשימוש נרחב בפוטו-וולטאים, מוליכים למחצה, אנרגיה חדשה, מטלורגיה וכו'.
הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, ופיתח טכנולוגיות פטנט מרובות כדי להבטיח ביצועים ואיכות המוצר, יכול גם לספק ללקוחות פתרונות חומר מקצועיים.
אנו מברכים אותך בחום לבקר במעבדה ובמפעל שלנו לדיון טכני ושיתופי פעולה!
