Akụkụ graphite dị elu dị oke mkpa makaUsoro na semiconductor, LED na ụlọ ọrụ anyanwụ. Onyinye anyị sitere na ngwa graphite maka mpaghara ọkụ na-eto eto kristal (ndị na-ekpo ọkụ, ndị na-ekpo ọkụ, ihe mkpuchi), na ihe graphite dị elu maka ngwa nhazi wafer, dị ka silicon carbide mkpuchi graphite susceptors maka Epitaxy ma ọ bụ MOCVD. Nke a bụ ebe graphite anyị pụrụ iche na-abata: graphite isostatic bụ ihe dị mkpa maka mmepụta nke ihe ntanetị nke semiconductor. A na-emepụta ihe ndị a na "mpaghara ọkụ" n'okpuru oke okpomọkụ n'oge a na-akpọ epitaxy, ma ọ bụ MOCVD. Onye na-ebu na-agbagharị agbagharị nke a na-ekpuchi wafers na reactor, mejupụtara graphite isostatic nke silicon carbide. Naanị nke a dị ọcha, graphite na-emekọ ihe na-ezute ihe dị elu chọrọ na usoro mkpuchi.
TỌ bụ isi ụkpụrụ nke LED epitaxial wafer ibu bụ: na mkpụrụ (karịsịa sapphire, SiC na Si) na-ekpo ọkụ na okpomọkụ kwesịrị ekwesị, a na-ebuga gas InGaAlP gaa n'elu ala n'ụzọ a na-achịkwa iji too otu ihe nkiri kristal kpọmkwem. Ka ọ dị ugbu a, teknụzụ uto nke LED epitaxial wafer na-anakwere ntinye kemịkalụ kemịkalụ organic metal.
Ihe onwunwe mkpụrụ epitaxial LEDbụ isi nkuku nke mmepe teknụzụ nke ụlọ ọrụ ọkụ ọkụ semiconductor. Ngwa mkpụrụ dị iche iche chọrọ teknụzụ uto epitaxial wafer dị iche iche, teknụzụ nhazi mgbawa na teknụzụ nkwakọ ngwaọrụ. Ngwa substrate na-ekpebi ụzọ mmepe nke teknụzụ ọkụ ọkụ semiconductor.
Njirimara LED epitaxial wafer mkpụrụ ihe nhọrọ:
1. The epitaxial ihe onwunwe nwere otu ma ọ bụ yiri crystal Ọdịdị na mkpụrụ, obere lattice na-agbanwe agbanwe mgbe nile, ezigbo crystallinity na obere ntụpọ njupụta.
2. Àgwà ọma interface dị mma, na-akwado nucleation nke ihe epitaxial na adhesion siri ike
3. Ọ nwere ezigbo nkwụsi ike nke kemịkal na ọ dịghị mfe imebi na corrode na okpomọkụ na ikuku nke epitaxial ibu.
4. Ọmarịcha okpomọkụ dị mma, gụnyere ezigbo okpomọkụ na-adịghị mma na obere okpomọkụ
5. Ezi conductivity, nwere ike ime n'ime elu na nke ala Ọdịdị 6, ezigbo ọrụ anya, na ìhè na-apụta site na ngwaọrụ e kere eke na-adịchaghị etinye ya n'ahụ site na mkpụrụ.
7. Ezigbo ihe eji arụ ọrụ na nhazi dị mfe nke ngwaọrụ, gụnyere thinning, polishing na ịkpụ
8. Ọnụ ala dị ala.
9. Nnukwu nha. N'ozuzu, dayameta ekwesịghị ịbụ ihe na-erughị sentimita abụọ.
10. Ọ dị mfe inweta mgbe udi mkpụrụ (ọ gwụla ma e nwere ndị ọzọ pụrụ iche chọrọ), na mkpụrụ udi yiri tray oghere nke epitaxial ngwá adịghị mfe na-etolite oge ufodu Eddy ugbu a, nke mere na-emetụta epitaxial àgwà.
11. N'ihe na-adịghị emetụta àgwà epitaxial, machinability nke mkpụrụ ahụ ga-emezu ihe achọrọ nke mgbawa na-esote na nhazi ngwugwu dị ka o kwere mee.
O siri ezigbo ike maka nhọrọ nke mkpụrụ iji zute akụkụ iri na otu ndị dị n'elu n'otu oge. Ya mere, ugbu a, anyị nwere ike ịmegharị naanị na R & D na mmepụta nke semiconductor ọkụ na-enye ọkụ na ihe dị iche iche site na mgbanwe nke nkà na ụzụ epitaxial na-emeziwanye nkà na ụzụ nhazi ngwaọrụ. Enwere ọtụtụ ihe mkpụrụ maka nyocha gallium nitride, mana enwere naanị mkpụrụ abụọ enwere ike iji maka nrụpụta, ya bụ sapphire Al2O3 na silicon carbide.Ngwa SiC.
Oge nzipu: Feb-28-2022