Perahu wafer grafit VET Energy adalah bahan habis pakai berkualitas tinggi yang dirancang untuk proses pengendapan di industri semikonduktor, fotovoltaik, dan lainnya. Terbuat dari bahan grafit dengan kemurnian tinggi dan kepadatan tinggi, produk ini memiliki ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan korosi, stabilitas dimensi dan karakteristik lainnya, dan dapat menyediakan platform pembawa yang stabil untuk proses pengendapan guna memastikan keseragaman dan kerataan deposisi film tipis. .
Perahu grafit PECVD dari VET Energy diproduksi dengan grafit isostatik dengan kemurnian tinggi, memiliki porositas di bawah 15% dan kekasaran permukaan Ra≤1.6μm. Stabilitas dimensi dan konduktivitas termal yang unggul memastikan deposisi film yang seragam dan meningkatkan efisiensi sel.
Bahan grafit dari SGL:
Parameter khas: R6510 | |||
Indeks | Standar tes | Nilai | Satuan |
Ukuran butir rata-rata | ISO 13320 | 10 | m |
Kepadatan massal | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | gram/cm3 |
Porositas terbuka | DIN66133 | 10 | % |
Ukuran pori sedang | DIN66133 | 1.8 | m |
Permeabilitas | DIN 51935 | 0,06 | cm²/detik |
Kekerasan Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Resistivitas listrik spesifik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Kekuatan lentur | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Kekuatan tekan | DIN 51910 | 130 | MPa |
modulus Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Ekspansi termal (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Konduktivitas termal (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ini dirancang khusus untuk pembuatan sel surya efisiensi tinggi, mendukung pemrosesan wafer ukuran besar G12. Desain kapal induk yang dioptimalkan secara signifikan meningkatkan hasil, memungkinkan tingkat hasil yang lebih tinggi dan biaya produksi yang lebih rendah.
Barang | Jenis | Pembawa wafer nomor |
Perahu Grephite PEVCD - Seri 156 | 156-13 perahu grefit | 144 |
156-19 perahu grefit | 216 | |
156-21 perahu grefit | 240 | |
156-23 perahu grafit | 308 | |
Perahu Grephite PEVCD - Seri 125 | 125-15 perahu grefit | 196 |
125-19 perahu grefit | 252 | |
125-21 perahu grfit | 280 |