Pembawa Grafit untuk proses PECVD

Deskripsi Singkat:

Energi VETPerahu Grafit PECVD untuk Panel Surya adalah komponen canggih yang dirancang khusus untuk produksi panel surya berkinerja tinggi. Digunakan dalam proses Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), perahu grafit ini memastikan penanganan material yang optimal dan deposisi lapisan tipis yang seragam pada sel surya. Direkayasa untuk presisi dan daya tahan, panel ini memberikan konduktivitas termal yang unggul, ketahanan korosi yang tinggi, dan kontaminasi minimal, yang penting untuk produksi panel surya yang efisien dan berkualitas tinggi.

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Energi VETPembawa grafit proses PECVD adalah bahan habis pakai berkualitas tinggi yang dirancang untuk proses PECVD (pengendapan uap kimia yang ditingkatkan plasma). Pembawa grafit ini terbuat dari bahan grafit dengan kemurnian tinggi dan kepadatan tinggi, dengan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan korosi, stabilitas dimensi dan karakteristik lainnya, dapat memberikan platform pembawa yang stabil untuk proses PECVD, untuk memastikan keseragaman dan kerataan film tipis endapan.

Pembawa grafit untuk proses PECVD memiliki karakteristik sebagai berikut:

▪ Kemurnian tinggi: kandungan pengotor yang sangat rendah, menghindari kontaminasi pada film dan memastikan kualitas film.

▪ Kepadatan tinggi: kepadatan tinggi, kekuatan mekanik tinggi, mampu menahan suhu tinggi dan lingkungan PECVD bertekanan tinggi.

▪ Stabilitas dimensi yang baik: perubahan dimensi kecil pada suhu tinggi, memastikan stabilitas proses.

▪ Konduktivitas termal yang sangat baik: mentransfer panas secara efektif untuk mencegah panas berlebih pada wafer.

▪ Ketahanan korosi yang kuat: mampu menahan erosi oleh berbagai gas korosif dan plasma.

▪ Layanan yang disesuaikan: pembawa grafit dengan berbagai ukuran dan bentuk dapat disesuaikan sesuai kebutuhan pelanggan.

Bahan grafit dari SGL:

Parameter khas: R6510
Indeks	Standar tes	Nilai	Satuan
Ukuran butir rata-rata	ISO 13320	10	m
Kepadatan massal	DIN IEC 60413/204	1.83	gram/cm³
Porositas terbuka	DIN66133	10	%
Ukuran pori sedang	DIN66133	1.8	m
Permeabilitas	DIN 51935	0,06	cm²/detik
Kekerasan Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistivitas listrik spesifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kekuatan lentur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kekuatan tekan	DIN 51910	130	MPa
modulus Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Ekspansi termal (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivitas termal (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ini dirancang khusus untuk pembuatan sel surya efisiensi tinggi, mendukung pemrosesan wafer ukuran besar G12. Desain kapal induk yang dioptimalkan secara signifikan meningkatkan hasil, memungkinkan tingkat hasil yang lebih tinggi dan biaya produksi yang lebih rendah.

Barang	Jenis	Pembawa wafer nomor
Perahu Grephite PEVCD - Seri 156	156-13 perahu grefit	144
	156-19 perahu grefit	216
	156-21 perahu grefit	240
	156-23 perahu grafit	308
Perahu Grephite PEVCD - Seri 125	125-15 perahu grefit	196
	125-19 perahu grefit	252
	125-21 perahu grfit	280