SiC ծածկույթի կրիչը RTP/RTA-ի համար հիմնական բաղադրիչն է, որն օգտագործվում է կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացներում, որը կոչվում է Արագ ջերմային մշակում և կռում: ինչպես նաև բարձր քիմիական դիմադրություն և ջերմային կայունություն:
Մեր արտադրանքի առանձնահատկությունները.
1. Բարձր ջերմաստիճանի օքսիդացման դիմադրություն մինչև 1700℃:
2. Բարձր մաքրություն և ջերմային միատեսակություն
3. Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն՝ թթու, ալկալի, աղ և օրգանական ռեակտիվներ:
4. Բարձր կարծրություն, կոմպակտ մակերես, նուրբ մասնիկներ:
5. Ավելի երկար ծառայության ժամկետ և ավելի դիմացկուն
CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ի հիմնական ֆիզիկական հատկություններըծածկույթ | |
性质 / Գույք | 典型数值 / Տիպիկ արժեք |
晶体结构 / Բյուրեղյա կառուցվածք | FCC β փուլ多晶,主要为(111): |
密度 / Խտություն | 3,21 գ/սմ³ |
硬度 / Կարծրություն | 2500 գրամ (500 գ բեռ) |
晶粒大小 / Grain SiZe | 2-10 մկմ |
纯度 / Քիմիական մաքրություն | 99,99995% |
热容 / Ջերմային հզորություն | 640 J·kg-1· Կ-1 |
升华温度 / Sublimation Temperature | 2700℃ |
抗弯强度 / Flexural Strength | 415 ՄՊա RT 4-բալ |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt թեքում, 1300℃ |
导热系数 / ԹերմալՀաղորդունակություն | 300W·m-1· Կ-1 |
热膨胀系数 / Ջերմային ընդլայնում (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy-ը հարմարեցված գրաֆիտի և սիլիցիումի կարբիդի արտադրանքի իրական արտադրողն է տարբեր ծածկույթներով, ինչպիսիք են SiC ծածկույթը, TaC ծածկույթը, ապակյա ածխածնային ծածկույթը, պիրոլիտիկ ածխածնային ծածկույթը և այլն, կարող է մատակարարել տարբեր հարմարեցված մասեր կիսահաղորդչային և ֆոտոգալվանային արդյունաբերության համար:
Մեր տեխնիկական թիմը գալիս է տեղական առաջատար հետազոտական հաստատություններից, կարող է ձեզ համար ավելի պրոֆեսիոնալ նյութական լուծումներ տրամադրել:
Մենք շարունակաբար զարգացնում ենք առաջադեմ գործընթացներ՝ ավելի առաջադեմ նյութեր տրամադրելու համար և մշակել ենք բացառիկ արտոնագրված տեխնոլոգիա, որը կարող է ծածկույթի և ենթաշերտի միջև կապը դարձնել ավելի ամուր և ավելի քիչ հակված տարանջատման:
Ջերմորեն ողջունում ենք ձեզ այցելել մեր գործարան, եկեք հետագա քննարկենք: