RTP/RTA SiC ծածկույթի կրիչ MOCVD Epitaxial Growth-ի համար

Կարճ նկարագրություն.

VET Energy RTP/RTA SiC Coating Carrier-ը բարձր արդյունավետության արտադրանք է, որը նախատեսված է երկարաժամկետ ժամանակահատվածում կայուն և հուսալի աշխատանք ապահովելու համար: Այն ունի սուպեր լավ ջերմակայունություն և ջերմային միատեսակություն, բարձր մաքրություն, էրոզիայի դիմադրություն՝ դարձնելով այն կատարյալ լուծում վաֆլի վերամշակման համար:


  • Ծագման վայրը.Չինաստան
  • Բյուրեղյա կառուցվածք.FCCb փուլ
  • Խտություն:3.21 գ/սմ
  • Կարծրություն:2500 Vickers
  • Հացահատիկի չափը.2-10 մկմ
  • Քիմիական մաքրություն.99,99995%
  • Ջերմային հզորություն:640J·kg-1·K-1
  • Սուբլիմացիայի ջերմաստիճանը.2700℃
  • Ֆլեքսուրային ուժ.415 ՄՊա (RT 4 կետ)
  • Young's Modulus.430 ԳՊա (4 կետ թեքում, 1300℃)
  • Ջերմային ընդլայնում (CTE):4.5 10-6K-1
  • Ջերմային հաղորդունակություն.300 (W/MK)
  • Ապրանքի մանրամասն

    Ապրանքի պիտակներ

    SiC ծածկույթի կրիչը RTP/RTA-ի համար հիմնական բաղադրիչն է, որն օգտագործվում է կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացներում, որը կոչվում է Արագ ջերմային մշակում և կռում: ինչպես նաև բարձր քիմիական դիմադրություն և ջերմային կայունություն:

    Մեր արտադրանքի առանձնահատկությունները.

    1. Բարձր ջերմաստիճանի օքսիդացման դիմադրություն մինչև 1700℃:
    2. Բարձր մաքրություն և ջերմային միատեսակություն
    3. Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն՝ թթու, ալկալի, աղ և օրգանական ռեակտիվներ:

    4. Բարձր կարծրություն, կոմպակտ մակերես, նուրբ մասնիկներ:
    5. Ավելի երկար ծառայության ժամկետ և ավելի դիմացկուն

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    CVD SiC-ի հիմնական ֆիզիկական հատկություններըծածկույթ

    性质 / Գույք

    典型数值 / Տիպիկ արժեք

    晶体结构 / Բյուրեղյա կառուցվածք

    FCC β փուլ多晶,主要为(111):

    密度 / Խտություն

    3,21 գ/սմ³

    硬度 / Կարծրություն

    2500 գրամ (500 գ բեռ)

    晶粒大小 / Grain SiZe

    2-10 մկմ

    纯度 / Քիմիական մաքրություն

    99,99995%

    热容 / Ջերմային հզորություն

    640 J·kg-1· Կ-1

    升华温度 / Sublimation Temperature

    2700℃

    抗弯强度 / Flexural Strength

    415 ՄՊա RT 4-բալ

    杨氏模量 / Young's Modulus

    430 Gpa 4pt թեքում, 1300℃

    导热系数 / ԹերմալՀաղորդունակություն

    300W·m-1· Կ-1

    热膨胀系数 / Ջերմային ընդլայնում (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy-ը հարմարեցված գրաֆիտի և սիլիցիումի կարբիդի արտադրանքի իրական արտադրողն է տարբեր ծածկույթներով, ինչպիսիք են SiC ծածկույթը, TaC ծածկույթը, ապակյա ածխածնային ծածկույթը, պիրոլիտիկ ածխածնային ծածկույթը և այլն, կարող է մատակարարել տարբեր հարմարեցված մասեր կիսահաղորդչային և ֆոտոգալվանային արդյունաբերության համար:

    Մեր տեխնիկական թիմը գալիս է տեղական առաջատար հետազոտական ​​հաստատություններից, կարող է ձեզ համար ավելի պրոֆեսիոնալ նյութական լուծումներ տրամադրել:

    Մենք շարունակաբար զարգացնում ենք առաջադեմ գործընթացներ՝ ավելի առաջադեմ նյութեր տրամադրելու համար և մշակել ենք բացառիկ արտոնագրված տեխնոլոգիա, որը կարող է ծածկույթի և ենթաշերտի միջև կապը դարձնել ավելի ամուր և ավելի քիչ հակված տարանջատման:

    Ջերմորեն ողջունում ենք ձեզ այցելել մեր գործարան, եկեք հետագա քննարկենք:

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Նախորդը:
  • Հաջորդը:

  • WhatsApp առցանց զրույց!