ՄԿՈՒ էներգիաPECVD գործընթացի գրաֆիտի կրիչը բարձրորակ սպառվող նյութ է, որը հարմարեցված է PECVD (պլազմայի ուժեղացված քիմիական գոլորշիների նստեցման) գործընթացին: Այս գրաֆիտի կրիչը պատրաստված է բարձր մաքրության, բարձր խտության գրաֆիտից, գերազանց բարձր ջերմաստիճանի դիմադրությամբ, կոռոզիոն դիմադրությամբ, ծավալային կայունությամբ և այլ բնութագրերով, կարող է ապահովել կայուն կրիչի հարթակ PECVD գործընթացի համար՝ ապահովելու բարակ ֆիլմի միատեսակությունն ու հարթությունը: ավանդադրում.
Գրաֆիտի կրիչները PECVD գործընթացի համար ունեն հետևյալ բնութագրերը.
▪ Բարձր մաքրություն. անմաքրության չափազանց ցածր պարունակություն՝ խուսափելով ֆիլմի աղտոտումից և ապահովելով ֆիլմի որակը:
▪ Բարձր խտություն. բարձր խտություն, բարձր մեխանիկական ուժ, կարող է դիմակայել բարձր ջերմաստիճանին և բարձր ճնշման PECVD միջավայրին:
▪ Լավ ծավալային կայունություն. փոքր չափերի փոփոխություն բարձր ջերմաստիճանում, ապահովելով գործընթացի կայունությունը:
▪ Գերազանց ջերմային հաղորդունակություն. արդյունավետորեն փոխանցել ջերմությունը՝ կանխելու վաֆլի գերտաքացումը:
▪ Ուժեղ կոռոզիոն դիմադրություն. կարող է դիմակայել տարբեր քայքայիչ գազերի և պլազմայի էրոզիային:
▪ Անհատականացված սպասարկում. տարբեր չափերի և ձևերի գրաֆիտի կրիչներ կարող են հարմարեցվել հաճախորդի կարիքներին համապատասխան:
Գրաֆիտային նյութ SGL-ից.
| Տիպիկ պարամետր՝ R6510 | |||
| Ցուցանիշ | Փորձարկման ստանդարտ | Արժեք | Միավոր |
| Հացահատիկի միջին չափը | ISO 13320 | 10 | մկմ |
| Զանգվածային խտություն | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | գ/սմ3 |
| Բաց ծակոտկենություն | DIN66133 | 10 | % |
| Միջին ծակոտի չափը | DIN66133 | 1.8 | մկմ |
| թափանցելիություն | DIN 51935 | 0.06 | սմ²/վրկ |
| Rockwell կարծրություն HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Հատուկ էլեկտրական դիմադրողականություն | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Ճկման ուժ | DIN IEC 60413/501 | 60 | ՄՊա |
| Սեղմման ուժը | DIN 51910 | 130 | ՄՊա |
| Յանգի մոդուլը | DIN 51915 | 11,5×10³ | ՄՊա |
| Ջերմային ընդլայնում (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Ջերմային հաղորդունակություն (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Այն հատուկ նախագծված է բարձր արդյունավետությամբ արևային մարտկոցների արտադրության համար՝ աջակցելով G12 մեծ չափի վաֆլի մշակմանը: Օպտիմիզացված կրիչի դիզայնը զգալիորեն մեծացնում է թողունակությունը՝ հնարավորություն տալով ավելի բարձր եկամտաբերության և արտադրության ավելի ցածր ծախսերի:
| Նյութ | Տեսակ | Համարների վաֆլի կրիչ |
| PEVCD Grephite նավակ - 156 սերիա | 156-13 գրեֆիտ նավակ | 144 |
| 156-19 գրեֆիտային նավակ | 216 | |
| 156-21 գրեֆիտային նավակ | 240 | |
| 156-23 գրաֆիտ նավակ | 308 թ | |
| PEVCD Grephite նավակ - 125 սերիա | 125-15 գրեֆիտ նավակ | 196 |
| 125-19 գրեֆիտ նավակ | 252 | |
| 125-21 գրֆիտե նավակ | 280 թ |
-
Գրաֆիտային ջեռուցիչներ Գրաֆիտային տաքացուցիչներ Կուստ...
-
Բարձր մաքրության բարձր ջերմաստիճանի ճկուն գրաֆիտ ...
-
իզոստատիկ գրաֆիտ և հատուկ գրաֆիտային բլոկ...
-
Մեկ բյուրեղյա գծագրման վառարանի տաք դաշտային համակարգ
-
Գրաֆիտային թուղթ մարտկոցի էլեկտրոդների համար ուլտրա...
-
Ածխածնային գրաֆիտ կրող թեւ երկարակյաց գրաֆիտ...