A CVD (Chemical Vapor Deposition) egy általánosan használt módszer a szilícium-karbid bevonatok előállítására.CVD szilícium-karbid bevonatokszámos egyedi teljesítményjellemzővel rendelkezik. Ez a cikk bemutatja a CVD szilícium-karbid bevonat elkészítési módszerét és teljesítményjellemzőit.
1. Elkészítés módjaCVD szilícium-karbid bevonat
A CVD módszer a gáznemű prekurzorokat szilárd szilícium-karbid bevonatokká alakítja magas hőmérsékleti körülmények között. A különböző gáznemű prekurzorok szerint gázfázisú CVD-re és folyadékfázisú CVD-re osztható.
1. Gőzfázisú CVD
A gőzfázisú CVD gáznemű prekurzorokat, általában szerves szilíciumvegyületeket használ a szilícium-karbid filmek növekedéséhez. Az általánosan használt szerves szilíciumvegyületek közé tartozik a metil-szilán, a dimetil-szilán, a monoszilán stb., amelyek szilícium-karbid filmeket képeznek fém szubsztrátumokon azáltal, hogy gáznemű prekurzorokat szállítanak a magas hőmérsékletű reakciókamrákba. A reakciókamrában a magas hőmérsékletű területek általában indukciós melegítéssel vagy rezisztív melegítéssel jönnek létre.
2. Folyékony fázisú CVD
A folyékony fázisú CVD folyékony prekurzort, általában szilíciumot és szilanolvegyületet tartalmazó szerves oldószert használ, amelyet egy reakciókamrában felmelegítenek és elpárologtatnak, majd kémiai reakcióval szilícium-karbid film keletkezik a hordozón.
2. Teljesítmény jellemzőiCVD szilícium-karbid bevonat
1. Kiváló magas hőmérsékletű teljesítmény
CVD szilícium-karbid bevonatokkiváló magas hőmérsékleti stabilitást és oxidációállóságot biztosítanak. Képes magas hőmérsékletű környezetben dolgozni, és ellenáll az extrém körülményeknek magas hőmérsékleten.
2.Jó mechanikai tulajdonságok
CVD szilícium-karbid bevonatnagy keménységgel és jó kopásállósággal rendelkezik. Megvédi a fémfelületeket a kopástól és a korróziótól, meghosszabbítva az anyag élettartamát.
3. Kiváló kémiai stabilitás
CVD szilícium-karbid bevonatokrendkívül ellenállóak az olyan általános vegyszerekkel szemben, mint a savak, lúgok és sók. Ellenáll a kémiai támadásoknak és az aljzat korróziójának.
4. Alacsony súrlódási tényező
CVD szilícium-karbid bevonatalacsony súrlódási tényezővel és jó önkenő tulajdonságokkal rendelkezik. Csökkenti a súrlódást és a kopást, valamint javítja az anyagfelhasználás hatékonyságát.
5.Jó hővezető képesség
A CVD szilícium-karbid bevonat jó hővezető tulajdonságokkal rendelkezik. Gyorsan vezeti a hőt és javítja a fém alap hőelvezetési hatékonyságát.
6.Kiváló elektromos szigetelési tulajdonságok
A CVD szilícium-karbid bevonat jó elektromos szigetelési tulajdonságokkal rendelkezik, és megakadályozza az áramszivárgást. Széles körben használják elektronikus eszközök szigetelésvédelmében.
7. Állítható vastagság és összetétel
A CVD-folyamat körülményeinek és a prekurzor koncentrációjának szabályozásával a szilícium-karbid film vastagsága és összetétele beállítható. Ez rengeteg lehetőséget és rugalmasságot biztosít számos alkalmazáshoz.
Röviden, a CVD szilícium-karbid bevonat kiváló magas hőmérsékleti teljesítménnyel, kiváló mechanikai tulajdonságokkal, jó kémiai stabilitással, alacsony súrlódási együtthatóval, jó hővezető képességgel és elektromos szigetelési tulajdonságokkal rendelkezik. Ezek a tulajdonságok a CVD szilícium-karbid bevonatokat széles körben használják számos területen, beleértve az elektronikát, az optikát, a repülést, a vegyipart stb.
Feladás időpontja: 2024. március 20