A SiC bevonat kémiai gőzfázisú leválasztással (CVD), prekurzor transzformációval, plazma szórással stb. készíthető. A KÉMIAI gőzleválasztással készített bevonat egységes és tömör, jó tervezhetőségű. Metil-trikloszilán felhasználásával. (CHzSiCl3, MTS) szilíciumforrásként, SiC bevonat előkészítő...
Olvass tovább