KIJAN POU FÈ YON WAFER SILICON
A waferse yon tranch Silisyòm apeprè 1 milimèt epè ki gen yon sifas ki trè plat gras a pwosedi ki teknikman trè egzijan. Itilizasyon ki vin apre a detèmine ki pwosedi k ap grandi kristal yo ta dwe anplwaye. Nan pwosesis Czochralski, pou egzanp, Silisyòm polikristalin la fonn epi yo tranpe yon kristal grenn kreyon-mens nan Silisyòm fonn lan. Lè sa a, kristal pitit pitit la vire epi tou dousman rale anwo. Yon kolos trè lou, yon monokristal, rezilta. Li posib pou chwazi karakteristik elektrik monokristal la lè w ajoute ti inite dopants ki gen anpil pite. Kristal yo dope an akò ak espesifikasyon kliyan yo ak Lè sa a, poli epi koupe an tranch. Apre plizyè etap pwodiksyon adisyonèl, kliyan an resevwa wafer espesifye li yo nan anbalaj espesyal, ki pèmèt kliyan an sèvi ak wafer la imedyatman nan liy pwodiksyon li yo.
PWOSESIS CZOCHRALSKI
Jodi a, yon gwo pati nan monokristal Silisyòm yo grandi dapre pwosesis Czochralski, ki enplike nan fonn Silisyòm polikristalin segondè-pite nan yon kreze kwatz hyperpure epi ajoute dopant la (anjeneral B, P, As, Sb). Yon mens, kristal grenn monokristalin tranpe l 'nan Silisyòm nan fonn. Lè sa a, yon gwo kristal CZ devlope soti nan kristal mens sa a. Règleman egzak nan tanperati a Silisyòm fonn ak koule, kristal la ak wotasyon kreze, osi byen ke kristal la rale vitès rezilta nan yon trè wo kalite monokristalin ingot Silisyòm.
FLOAT ZÒN METÒD
Monokristal fabrike dapre metòd zòn flote yo ideyal pou itilize nan konpozan semi-conducteurs pouvwa, tankou IGBTs. Yon silendrik polikristalin ingot Silisyòm monte sou yon bobin endiksyon. Yon jaden elektwomayetik frekans radyo ede fonn Silisyòm ki soti nan pati ki pi ba baton an. Jaden elektwomayetik kontwole koule Silisyòm nan yon ti twou nan bobin endiksyon an ak sou monokristal ki anba a (metòd zòn flote). Dopaj la, anjeneral ak B oswa P, reyalize lè yo ajoute sibstans ki sou gaz.
Tan poste: Jun-07-2021