Enèji VET sèvi ak pite ultra-segondècarbure Silisyòm (SiC)ki fòme pa depo chimik vapè(CVD)kòm materyèl sous pou grandiSiC kristalpa transpò fizik vapè (PVT). Nan PVT, materyèl sous la chaje nan yonkrezeak sublime sou yon kristal grenn.
Yon sous pite segondè oblije fabrike kalite siperyèSiC kristal.
Enèji VET espesyalize nan bay SiC gwo patikil pou PVT paske li gen yon dansite ki pi wo pase materyèl ti patikil ki fòme pa konbisyon espontane nan Si ak C ki gen gaz. Kontrèman ak sintering solid-faz oswa reyaksyon an nan Si ak C, li pa mande pou yon gwo fou sintering dedye oswa yon etap sintering ki pran tan nan yon gwo founo kwasans. Materyèl gwo patikil sa a gen yon pousantaj evaporasyon prèske konstan, ki amelyore inifòmite kouri-a-kouri.
Entwodiksyon:
1. Prepare sous blòk CVD-SiC: Premyèman, ou bezwen prepare yon sous blòk CVD-SiC-wo kalite, ki anjeneral nan pite segondè ak dansite segondè. Sa a ka prepare pa metòd depo chimik vapè (CVD) nan kondisyon reyaksyon apwopriye.
2. Preparasyon substrate: Chwazi yon substrate apwopriye kòm substrate pou kwasans yon sèl kristal SiC. Souvan itilize materyèl substrate gen ladann Silisyòm carbure, Silisyòm nitrure, elatriye, ki gen yon bon match ak ap grandi SiC moun ki pa marye kristal.
3. Chofaj ak sublimasyon: Mete sous blòk CVD-SiC la ak substra nan yon gwo founo tanperati epi bay kondisyon sublimasyon apwopriye. Sublimasyon vle di ke nan tanperati ki wo, sous blòk la dirèkteman chanje soti nan solid nan eta vapè, ak Lè sa a, re-kondanse sou sifas la substra yo fòme yon kristal sèl.
4. Tanperati kontwòl: Pandan pwosesis sublimasyon an, gradyan tanperati a ak distribisyon tanperati bezwen kontwole jisteman pou ankouraje sublimasyon sous blòk la ak kwasans kristal sèl. Kontwòl tanperati apwopriye ka reyalize bon jan kalite kristal ideyal ak to kwasans.
5. Kontwòl atmosfè: Pandan pwosesis sublimasyon an, atmosfè reyaksyon an tou bezwen kontwole. Se gwo pite gaz inaktif (tankou agon) anjeneral yo itilize kòm yon gaz konpayi asirans pou kenbe presyon apwopriye ak pite ak anpeche kontaminasyon pa enpurte.
6. Kwasans kristal sèl: sous blòk CVD-SiC la sibi yon tranzisyon faz vapè pandan pwosesis sublimasyon an epi li recondenses sou sifas substra a pou fòme yon estrikti kristal sèl. Kwasans rapid nan kristal sèl SiC ka reyalize nan kondisyon sublimasyon apwopriye ak kontwòl gradyan tanperati.