SiC Wafer Boat/Tower

Pojedinosti o proizvodu

ProizvodDopis

Vafer brod od silicij-karbida naširoko se koristi kao držač pločica u procesu difuzije na visokim temperaturama.

Prednosti:

Otpornost na visoke temperature:normalna uporaba na 1800 ℃

Visoka toplinska vodljivost:ekvivalentan grafitnom materijalu

Visoka tvrdoća:tvrdoća odmah iza dijamanta, bor nitrida

Otpornost na koroziju:jake kiseline i lužine nemaju koroziju, otpornost na koroziju bolja je od volfram karbida i glinice

Mala težina:niske gustoće, blizu aluminija

Nema deformacija: nizak koeficijent toplinske ekspanzije

Otpornost na toplinski udar:može izdržati oštre promjene temperature, otporan je na toplinski udar i ima stabilne performanse

Fizička svojstva SiC

Vlasništvo	Vrijednost	metoda
Gustoća	3,21 g/cc	Sudoper-plovac i dimenzija
Specifična toplina	0,66 J/g °K	Pulsirajući laserski bljesak
Čvrstoća na savijanje	450 MPa 560 MPa	4 točke zavoja, RT4 točka zavoja, 1300°
Žilavost loma	2,94 MPa m1/2	Mikroudubljenje
Tvrdoća	2800	Vicker's, 500g opterećenja
Modul elastičnosti Youngov modul	450 GPa 430 GPa	4 pt zavoj, RT4 pt zavoj, 1300 °C
Veličina zrna	2 – 10 µm	SEM