Grafitni prsten presvučen CVD silicij karbidom

Grafitni prsten presvučen CVD silicijevim karbidom Prikazana slika

Kratki opis:

Grafitni prsten obložen silicij-karbidom VET Energy proizvod je visokih performansi dizajniran da pruži dosljednu i pouzdanu izvedbu tijekom duljeg razdoblja.Ima super dobru otpornost na toplinu i toplinsku ujednačenost, visoku čistoću, otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za aplikacije obrade pločica.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmite kao PDF

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Tipična svojstva osnovnog grafitnog materijala:

Prividna gustoća:	1,85 g/cm3
Električni otpor:	11 μΩm
Čvrstoća na savijanje:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdoća po Shoru:	58
Pepeo:	<5 ppm
Toplinska vodljivost:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Isporučujemo različite suceptore i grafitne komponente za sve postojeće reaktore za epitaksiju.Naši proizvodi uključuju bačvaste suceptore za LPE jedinice, pancake suceptore za LPE, CSD i Gemini jedinice i jednostruke suceptore za primijenjene i ASM jedinice.

Kombinirajući snažna partnerstva s vodećim proizvođačima originalne opreme, stručnost u materijalima i proizvodni know-how, vet nudi optimalan dizajn za vašu primjenu.

VET Energy je thepravi proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicij karbida s CVD premazom,može opskrbitirazneprilagođeni dijelovi za poluvodičku i fotonaponsku industriju. Onaš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija, može pružiti profesionalnija materijalna rješenjaza tebe.

Fkarakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama do 1700℃.
2. Visoka čistoća itoplinska jednolikost
3. Izvrsna otpornost na koroziju: kiseline, lužine, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži radni vijek i izdržljiviji

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizikalna svojstva CVD SiCpremazivanje
性质 / Vlasništvo	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111）取向
密度 / Gustoća	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度（500g opterećenja）
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistoća	99,99995%
热容 / Kapacitet topline	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4 točke
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa 4pt zavoj, 1300 ℃
导热系数 / ThermalProvodljivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplinska ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1