SiC वेफर नाव/टावर

उत्पादDलेखन

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाव का व्यापक रूप से उच्च तापमान प्रसार प्रक्रिया में वेफर धारक के रूप में उपयोग किया जाता है।

लाभ:

उच्च तापमान प्रतिरोध:1800 ℃ पर सामान्य उपयोग

उच्च तापीय चालकता:ग्रेफाइट सामग्री के बराबर

उच्च कठोरता:कठोरता हीरे, बोरॉन नाइट्राइड के बाद दूसरे स्थान पर है

संक्षारण प्रतिरोध:मजबूत एसिड और क्षार में कोई संक्षारण नहीं होता है, संक्षारण प्रतिरोध टंगस्टन कार्बाइड और एल्यूमिना से बेहतर होता है

हल्का वज़न:कम घनत्व, एल्यूमीनियम के करीब

कोई विकृति नहीं: थर्मल विस्तार का कम गुणांक

थर्मल शॉक प्रतिरोध:यह तेज तापमान परिवर्तन का सामना कर सकता है, थर्मल झटके का प्रतिरोध कर सकता है और इसका प्रदर्शन स्थिर है

SiC के भौतिक गुण

SiC के तापीय गुण