सेमीकंडक्टर के लिए SiC कोटिंग/लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेट/ट्रे

संक्षिप्त वर्णन:

एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए वीईटी एनर्जी सीआईसी कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर एक उच्च प्रदर्शन वाला उत्पाद है जिसे विस्तारित अवधि में लगातार और विश्वसनीय प्रदर्शन प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसमें बहुत अच्छा गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोध है, जो इसे वेफर प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए सही समाधान बनाता है।


उत्पाद विवरण

उत्पाद टैग

सेमीकंडक्टर के लिए ग्रेफाइट ससेप्टर की SiC कोटिंग/लेपित
 
SiC लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेटसेमीकंडक्टर प्रसंस्करण उद्योग की कठोर मांगों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया एक अत्यधिक टिकाऊ और कुशल समाधान है। उच्च शुद्धता की एक परत की विशेषतासिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग, यह सब्सट्रेट असाधारण थर्मल स्थिरता, ऑक्सीकरण प्रतिरोध और लंबे समय तक सेवा जीवन प्रदान करता है, जो इसे एमओसीवीडी प्रक्रियाओं, ग्रेफाइट वेफर वाहक और अन्य उच्च तापमान वाले वातावरण में अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बनाता है।

 विशेषताएँ: 
· उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध
· उत्कृष्ट शारीरिक आघात प्रतिरोध
·उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध
· अति उच्च शुद्धता
· जटिल आकार में उपलब्धता
·ऑक्सीकरण वातावरण के तहत प्रयोग करने योग्य

आवेदन पत्र:

3

उत्पाद सुविधाएँ और लाभ:

1. सुपीरियर थर्मल प्रतिरोध:उच्च शुद्धता के साथSiC कोटिंग, सब्सट्रेट अत्यधिक तापमान का सामना करता है, जिससे एपिटेक्सी और सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन जैसे मांग वाले वातावरण में लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित होता है।

2. बढ़ी हुई स्थायित्व:SiC लेपित ग्रेफाइट घटकों को रासायनिक संक्षारण और ऑक्सीकरण का विरोध करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, जो मानक ग्रेफाइट सब्सट्रेट की तुलना में सब्सट्रेट के जीवनकाल को बढ़ाता है।

3. विट्रीस लेपित ग्रेफाइट:की अनोखी कांचयुक्त संरचनाSiC कोटिंगउत्कृष्ट सतह कठोरता प्रदान करता है, उच्च तापमान प्रसंस्करण के दौरान टूट-फूट को कम करता है।

4. उच्च शुद्धता SiC कोटिंग:हमारा सब्सट्रेट संवेदनशील अर्धचालक प्रक्रियाओं में न्यूनतम संदूषण सुनिश्चित करता है, उन उद्योगों के लिए विश्वसनीयता प्रदान करता है जिन्हें कठोर सामग्री शुद्धता की आवश्यकता होती है।

5. व्यापक बाज़ार अनुप्रयोग:SiC लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टरसेमीकंडक्टर विनिर्माण में उन्नत SiC लेपित उत्पादों की मांग बढ़ने से बाजार में वृद्धि जारी है, जिससे यह सब्सट्रेट ग्रेफाइट वेफर कैरियर बाजार और सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ट्रे बाजार दोनों में एक प्रमुख खिलाड़ी के रूप में स्थापित हो गया है।

बेस ग्रेफाइट सामग्री के विशिष्ट गुण:

स्पष्ट घनत्व: 1.85 ग्राम/सेमी3
विद्युत प्रतिरोधकता: 11 μΩm
फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ: 49 एमपीए (500किग्रा/सेमी2)
किनारों का कड़ापन: 58
राख: <5पीपीएम
ऊष्मीय चालकता: 116 डब्लू/एमके (100 किलो कैलोरी/एमएचआर-℃)

 

सीवीडी SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC के बुनियादी भौतिक गुणकलई करना

性质 / संपत्ति

典型数值 / विशिष्ट मूल्य

晶体结构/क्रिस्टल संरचना

एफसीसी β चरण चरण 111

密度 / घनत्व

3.21 ग्राम/सेमी³

कठोरता / कठोरता

2500 ग्राम वजन (500 ग्राम लोड)

晶粒大小/अनाज आकार

2~10μm

纯度/रासायनिक शुद्धता

99.99995%

热容 / ताप क्षमता

640 जे·किग्रा-1·के-1

升华温度 / ऊर्ध्वपातन तापमान

2700℃

抗弯强度 / लचीली ताकत

415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट

杨氏模量/यंग का मापांक

430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃

导热系数/थर्मल चालकता

300W·m-1·के-1

थर्मल विस्तार (सीटीई)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

वीईटी एनर्जी विभिन्न कोटिंग्स जैसे SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग इत्यादि के साथ अनुकूलित ग्रेफाइट और सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादों का वास्तविक निर्माता है, जो सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक उद्योग के लिए विभिन्न अनुकूलित भागों की आपूर्ति कर सकता है।

हमारी तकनीकी टीम शीर्ष घरेलू अनुसंधान संस्थानों से आती है, जो आपके लिए अधिक पेशेवर सामग्री समाधान प्रदान कर सकती है।

हम अधिक उन्नत सामग्री प्रदान करने के लिए लगातार उन्नत प्रक्रियाएं विकसित करते हैं, और एक विशेष पेटेंट तकनीक पर काम किया है, जो कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच संबंध को मजबूत बना सकता है और अलग होने की संभावना कम कर सकता है।

हमारे कारखाने का दौरा करने के लिए आपका हार्दिक स्वागत है, आइए आगे चर्चा करें!

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