आरटीपी/आरटीए के लिए एसआईसी कोटिंग कैरियर

संक्षिप्त वर्णन:

आरटीपी/आरटीए के लिए वीईटी एनर्जी सीआईसी कोटिंग कैरियर एक उच्च प्रदर्शन वाला उत्पाद है जिसे विस्तारित अवधि में लगातार और विश्वसनीय प्रदर्शन प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसमें बहुत अच्छा गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोध है, जो इसे वेफर प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए सही समाधान बनाता है।

 

 


  • उत्पत्ति का स्थान :चीन
  • क्रिस्टल की संरचना :एफसीसीβचरण
  • घनत्व :3.21 ग्राम/सेमी;
  • कठोरता:2500 विकर्स;
  • अनाज आकार :2~10μm;
  • रासायनिक शुद्धता :99.99995%;
  • ताप की गुंजाइश :640J·किग्रा-1·K-1;
  • उर्ध्वपातन तापमान:2700℃;
  • फ़ेलेक्सुरल ताकत:415 एमपीए (आरटी 4-प्वाइंट);
  • यंग का मापांक:430 जीपीए (4पीटी मोड़, 1300℃);
  • थर्मल विस्तार (सीटीई) :4.5 10-6के-1;
  • ऊष्मीय चालकता:300(डब्ल्यू/एमके);
  • उत्पाद विवरण

    उत्पाद टैग

    आरटीपी/आरटीए के लिए एसआईसी कोटिंग कैरियर रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग और एनीलिंग नामक सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाने वाला एक प्रमुख घटक है, हम सिलिकॉन कार्बाइड कैरियर को अत्यधिक उच्च शुद्धता, अच्छी कोटिंग एकरूपता और उत्कृष्ट सेवा जीवन के साथ बनाने के लिए अपनी पेटेंट तकनीक का उपयोग करते हैं, जैसा कि साथ ही उच्च रासायनिक प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता गुण।

    हमारे उत्पादों की विशेषताएं:

    1. 1700℃ तक उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध।
    2. उच्च शुद्धता और तापीय एकरूपता
    3. उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।

    4. उच्च कठोरता, सघन सतह, महीन कण।
    5. लंबी सेवा जीवन और अधिक टिकाऊ

    सीवीडी SiC薄膜基本物理性能

    CVD SiC के बुनियादी भौतिक गुणकलई करना

    性质 / संपत्ति

    典型数值 / विशिष्ट मूल्य

    यह बहुत अच्छा है / क्रिस्टल की संरचना

    एफसीसी β चरण多晶,主要为(111)取向

    密度 / घनत्व

    3.21 ग्राम/सेमी³

    硬度 / कठोरता

    2500 ग्राम वजन (500 ग्राम लोड)

    晶粒大小 / अनाज आकार

    2~10μm

    纯度 /रासायनिक शुद्धता

    99.99995%

    热容 / ताप की गुंजाइश

    640 जे·किग्रा-1·के-1

    升华温度 / ऊर्ध्वपातन तापमान

    2700℃

    抗弯强度 / आनमनी सार्मथ्य

    415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट

    杨氏模量 /यंग का मापांक

    430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃

    导热系数 / थर्माएलप्रवाहकत्त्व

    300W·m-1·के-1

    热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (सीटीई)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    वीईटी एनर्जी विभिन्न कोटिंग्स जैसे SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग इत्यादि के साथ अनुकूलित ग्रेफाइट और सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादों का वास्तविक निर्माता है, जो सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक उद्योग के लिए विभिन्न अनुकूलित भागों की आपूर्ति कर सकता है।

    हमारी तकनीकी टीम शीर्ष घरेलू अनुसंधान संस्थानों से आती है, जो आपके लिए अधिक पेशेवर सामग्री समाधान प्रदान कर सकती है।

    हम अधिक उन्नत सामग्री प्रदान करने के लिए लगातार उन्नत प्रक्रियाएं विकसित करते हैं, और एक विशेष पेटेंट तकनीक पर काम किया है, जो कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच संबंध को मजबूत बना सकता है और अलग होने की संभावना कम कर सकता है।

    हमारे कारखाने का दौरा करने के लिए आपका हार्दिक स्वागत है, आइए आगे चर्चा करें!

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