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उत्पादDलेखन
सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाव का व्यापक रूप से उच्च तापमान प्रसार प्रक्रिया में वेफर धारक के रूप में उपयोग किया जाता है।
लाभ:
उच्च तापमान प्रतिरोध:1800 ℃ पर सामान्य उपयोग
उच्च तापीय चालकता:ग्रेफाइट सामग्री के बराबर
उच्च कठोरता:कठोरता हीरे, बोरॉन नाइट्राइड के बाद दूसरे स्थान पर है
संक्षारण प्रतिरोध:मजबूत एसिड और क्षार में कोई संक्षारण नहीं होता है, संक्षारण प्रतिरोध टंगस्टन कार्बाइड और एल्यूमिना से बेहतर होता है
हल्का वज़न:कम घनत्व, एल्यूमीनियम के करीब
कोई विकृति नहीं: थर्मल विस्तार का कम गुणांक
थर्मल शॉक प्रतिरोध:यह तेज तापमान परिवर्तन का सामना कर सकता है, थर्मल झटके का प्रतिरोध कर सकता है और इसका प्रदर्शन स्थिर है
SiC के भौतिक गुण
संपत्ति | कीमत | तरीका |
घनत्व | 3.21 ग्राम/सीसी | सिंक-फ्लोट और आयाम |
विशिष्ट ऊष्मा | 0.66 जे/जी डिग्रीके | स्पंदित लेजर फ़्लैश |
आनमनी सार्मथ्य | 450 एमपीए560 एमपीए | 4 पॉइंट बेंड, RT4 पॉइंट बेंड, 1300° |
अस्थिभंग बेरहमी | 2.94 एमपीए एम1/2 | माइक्रोइंडेंटेशन |
कठोरता | 2800 | विकर, 500 ग्राम भार |
इलास्टिक मापांकयुवा मापांक | 450 जीपीए430 जीपीए | 4 पीटी मोड़, आरटी4 पीटी मोड़, 1300 डिग्री सेल्सियस |
अनाज आकार | 2 - 10 µm | एसईएम |
SiC के तापीय गुण
ऊष्मीय चालकता | 250 डब्लू/एम डिग्रीके | लेजर फ्लैश विधि, आरटी |
थर्मल विस्तार (सीटीई) | 4.5 x 10-6 डिग्री के | कमरे का तापमान 950 डिग्री सेल्सियस तक, सिलिका डिलेटोमीटर |