रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) पतली फिल्म जमाव तकनीक का परिचय

रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) एक महत्वपूर्ण पतली फिल्म जमाव तकनीक है, जिसका उपयोग अक्सर विभिन्न कार्यात्मक फिल्मों और पतली परत सामग्री को तैयार करने के लिए किया जाता है, और इसका व्यापक रूप से अर्धचालक निर्माण और अन्य क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है।

1. सीवीडी का कार्य सिद्धांत

सीवीडी प्रक्रिया में, एक गैस अग्रदूत (एक या अधिक गैसीय अग्रदूत यौगिक) को सब्सट्रेट सतह के संपर्क में लाया जाता है और रासायनिक प्रतिक्रिया पैदा करने के लिए एक निश्चित तापमान तक गर्म किया जाता है और वांछित फिल्म या कोटिंग बनाने के लिए सब्सट्रेट सतह पर जमा किया जाता है। परत। इस रासायनिक प्रतिक्रिया का उत्पाद एक ठोस, आमतौर पर वांछित सामग्री का एक यौगिक होता है। यदि हम सिलिकॉन को किसी सतह पर चिपकाना चाहते हैं, तो हम पूर्ववर्ती गैस के रूप में ट्राइक्लोरोसिलेन (SiHCl3) का उपयोग कर सकते हैं: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl सिलिकॉन किसी भी उजागर सतह (आंतरिक और बाहरी दोनों) से बंध जाएगा, जबकि क्लोरीन और हाइड्रोक्लोरिक एसिड गैसें चैंबर से छुट्टी दी जाए.

2. सीवीडी वर्गीकरण

थर्मल सीवीडी: पूर्ववर्ती गैस को गर्म करके इसे सब्सट्रेट सतह पर विघटित और जमा करना। प्लाज्मा संवर्धित सीवीडी (पीईसीवीडी): प्रतिक्रिया दर को बढ़ाने और जमाव प्रक्रिया को नियंत्रित करने के लिए प्लाज्मा को थर्मल सीवीडी में जोड़ा जाता है। मेटल ऑर्गेनिक सीवीडी (एमओसीवीडी): धातु कार्बनिक यौगिकों को पूर्ववर्ती गैसों के रूप में उपयोग करके, धातुओं और अर्धचालकों की पतली फिल्में तैयार की जा सकती हैं, और अक्सर एलईडी जैसे उपकरणों के निर्माण में उपयोग की जाती हैं।

3. आवेदन

(1) सेमीकंडक्टर निर्माण

सिलिसाइड फिल्म: इन्सुलेटिंग परतों, सब्सट्रेट्स, अलगाव परतों आदि को तैयार करने के लिए उपयोग किया जाता है। नाइट्राइड फिल्म: सिलिकॉन नाइट्राइड, एल्यूमीनियम नाइट्राइड इत्यादि तैयार करने के लिए उपयोग किया जाता है, एलईडी, बिजली उपकरणों आदि में उपयोग किया जाता है। धातु फिल्म: प्रवाहकीय परतों को तैयार करने के लिए उपयोग किया जाता है, धातुकृत परतें, आदि

(2) प्रदर्शन प्रौद्योगिकी

आईटीओ फिल्म: पारदर्शी प्रवाहकीय ऑक्साइड फिल्म, आमतौर पर फ्लैट पैनल डिस्प्ले और टच स्क्रीन में उपयोग की जाती है। कॉपर फिल्म: प्रदर्शन उपकरणों के प्रदर्शन को बेहतर बनाने के लिए पैकेजिंग परतें, प्रवाहकीय लाइनें आदि तैयार करने के लिए उपयोग की जाती है।

(3) अन्य क्षेत्र

ऑप्टिकल कोटिंग्स: जिसमें एंटी-रिफ्लेक्टिव कोटिंग्स, ऑप्टिकल फिल्टर आदि शामिल हैं। एंटी-जंग कोटिंग: ऑटोमोटिव पार्ट्स, एयरोस्पेस डिवाइस आदि में उपयोग किया जाता है।

4. सीवीडी प्रक्रिया की विशेषताएं

प्रतिक्रिया की गति को बढ़ावा देने के लिए उच्च तापमान वाले वातावरण का उपयोग करें। आमतौर पर निर्वात वातावरण में प्रदर्शन किया जाता है। पेंटिंग से पहले भाग की सतह पर मौजूद दूषित पदार्थों को हटा दिया जाना चाहिए। इस प्रक्रिया में उन सबस्ट्रेट्स पर सीमाएं हो सकती हैं जिन्हें लेपित किया जा सकता है, यानी तापमान सीमाएं या प्रतिक्रियाशीलता सीमाएं। सीवीडी कोटिंग धागे, ब्लाइंड होल और आंतरिक सतहों सहित भाग के सभी क्षेत्रों को कवर करेगी। विशिष्ट लक्ष्य क्षेत्रों को छिपाने की क्षमता सीमित हो सकती है। फिल्म की मोटाई प्रक्रिया और सामग्री स्थितियों द्वारा सीमित है। बेहतर आसंजन.