SiC कोटिंग के साथ लंबी सेवा जीवन सिलिकॉन कार्बाइड वेफर कैसेट

संक्षिप्त वर्णन:

SiC कोटिंग के साथ VET एनर्जी सिलिकॉन कार्बाइड वेफर कैसेट एक उच्च प्रदर्शन वाला उत्पाद है जिसे विस्तारित अवधि में लगातार और विश्वसनीय प्रदर्शन प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसमें बहुत अच्छा गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोध है, जो इसे वेफर प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए सही समाधान बनाता है।


उत्पाद विवरण

उत्पाद टैग

पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के गुण

पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड (R-SiC) एक उच्च प्रदर्शन वाली सामग्री है जिसमें हीरे के बाद कठोरता होती है, जो 2000 ℃ से ऊपर उच्च तापमान पर बनता है। यह SiC के कई उत्कृष्ट गुणों को बरकरार रखता है, जैसे उच्च तापमान शक्ति, मजबूत संक्षारण प्रतिरोध, उत्कृष्ट ऑक्सीकरण प्रतिरोध, अच्छा थर्मल शॉक प्रतिरोध इत्यादि।

● उत्कृष्ट यांत्रिक गुण। पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड में कार्बन फाइबर की तुलना में अधिक ताकत और कठोरता होती है, उच्च प्रभाव प्रतिरोध होता है, अत्यधिक तापमान वाले वातावरण में अच्छा प्रदर्शन कर सकता है, विभिन्न स्थितियों में बेहतर असंतुलन प्रदर्शन कर सकता है। इसके अलावा, इसमें अच्छा लचीलापन भी है और यह खींचने और झुकने से आसानी से क्षतिग्रस्त नहीं होता है, जिससे इसके प्रदर्शन में काफी सुधार होता है।

● उच्च संक्षारण प्रतिरोध। पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड में विभिन्न प्रकार के मीडिया के लिए उच्च संक्षारण प्रतिरोध होता है, विभिन्न प्रकार के संक्षारक मीडिया के क्षरण को रोक सकता है, लंबे समय तक इसके यांत्रिक गुणों को बनाए रख सकता है, इसमें मजबूत आसंजन होता है, जिससे इसकी सेवा जीवन लंबा होता है। इसके अलावा, इसमें अच्छी थर्मल स्थिरता भी है, तापमान परिवर्तन की एक निश्चित सीमा के अनुकूल हो सकता है, इसके अनुप्रयोग प्रभाव में सुधार हो सकता है।

● सिंटरिंग सिकुड़ती नहीं है। क्योंकि सिंटरिंग प्रक्रिया सिकुड़ती नहीं है, कोई भी अवशिष्ट तनाव उत्पाद के विरूपण या टूटने का कारण नहीं बनेगा, और जटिल आकार और उच्च परिशुद्धता वाले हिस्से तैयार किए जा सकते हैं।

重结晶碳化硅物理特性

पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण

性质 / संपत्ति

典型数值 / विशिष्ट मूल्य

使用温度/ कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस)

1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (कम करने वाला वातावरण)

सिक含量/SiC सामग्री

> 99.96%

自由सी含量/ निःशुल्क सी सामग्री

<0.1%

体积密度/थोक घनत्व

2.60-2.70 ग्राम/सेमी3

气孔率/ स्पष्ट सरंध्रता

<16%

抗压强度/ संपीड़न ताकत

> 600एमपीए

常温抗弯强度/ठंडी झुकने की ताकत

80-90 एमपीए (20 डिग्री सेल्सियस)

高温抗弯强度गर्म झुकने की शक्ति

90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस)

热膨胀系数/ थर्मल विस्तार @1500°C

4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस

导热系数/तापीय चालकता @1200°C

23डब्ल्यू/एम•के

杨氏模量/ लोचदार मापांक

240 जीपीए

抗热震性/ थर्मल शॉक प्रतिरोध

बहुत ही अच्छा

वीईटी एनर्जी है सीवीडी कोटिंग के साथ अनुकूलित ग्रेफाइट और सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादों के वास्तविक निर्माता,आपूर्ति कर सकते हैंविभिन्नसेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक उद्योग के लिए अनुकूलित हिस्से। Oआपकी तकनीकी टीम शीर्ष घरेलू अनुसंधान संस्थानों से आती है, जो अधिक पेशेवर सामग्री समाधान प्रदान कर सकती हैआपके लिए।

हम अधिक उन्नत सामग्री प्रदान करने के लिए लगातार उन्नत प्रक्रियाएं विकसित करते हैं,औरने एक विशेष पेटेंट तकनीक पर काम किया है, जो कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच के बंधन को मजबूत बना सकती है और अलग होने की संभावना कम हो सकती है।

सीवीडी SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC के बुनियादी भौतिक गुणकलई करना

性质 / संपत्ति

典型数值 / विशिष्ट मूल्य

यह बहुत अच्छा है / क्रिस्टल की संरचना

एफसीसी β चरण多晶,主要为(111)取向

密度 / घनत्व

3.21 ग्राम/सेमी³

硬度 / कठोरता

2500 ग्राम वजन (500 ग्राम लोड)

晶粒大小 / अनाज आकार

2~10μm

纯度 /रासायनिक शुद्धता

99.99995%

热容 / ताप की गुंजाइश

640 जे·किग्रा-1·के-1

升华温度 / ऊर्ध्वपातन तापमान

2700℃

抗弯强度 / आनमनी सार्मथ्य

415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट

杨氏模量 /यंग का मापांक

430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃

导热系数 / थर्माएलप्रवाहकत्त्व

300W·m-1·के-1

热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (सीटीई)

4.5×10-6K-1

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