पशु चिकित्सक ऊर्जाPECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वाहक PECVD (प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव) प्रक्रिया के लिए तैयार किया गया एक उच्च गुणवत्ता वाला उपभोज्य है। यह ग्रेफाइट वाहक उच्च शुद्धता, उच्च घनत्व ग्रेफाइट सामग्री से बना है, उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता और अन्य विशेषताओं के साथ, पतली फिल्म की एकरूपता और समतलता सुनिश्चित करने के लिए, पीईसीवीडी प्रक्रिया के लिए एक स्थिर वाहक मंच प्रदान कर सकता है। बयान.
PECVD प्रक्रिया के लिए ग्रेफाइट वाहकों में निम्नलिखित विशेषताएं हैं:
▪ उच्च शुद्धता: बेहद कम अशुद्धता सामग्री, फिल्म के संदूषण से बचना और फिल्म की गुणवत्ता सुनिश्चित करना।
▪ उच्च घनत्व: उच्च घनत्व, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापमान और उच्च दबाव PECVD वातावरण का सामना करने में सक्षम।
▪ अच्छी आयामी स्थिरता: उच्च तापमान पर छोटे आयामी परिवर्तन, प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करना।
▪ उत्कृष्ट तापीय चालकता: वेफर को अधिक गर्म होने से बचाने के लिए प्रभावी ढंग से गर्मी स्थानांतरित करता है।
▪ मजबूत संक्षारण प्रतिरोध: विभिन्न संक्षारक गैसों और प्लाज्मा द्वारा क्षरण का विरोध करने में सक्षम।
▪ अनुकूलित सेवा: विभिन्न आकारों और आकृतियों के ग्रेफाइट वाहकों को ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।
एसजीएल से ग्रेफाइट सामग्री:
| विशिष्ट पैरामीटर: R6510 | |||
| अनुक्रमणिका | परीक्षण मानक | कीमत | इकाई |
| औसत अनाज का आकार | आईएसओ 13320 | 10 | माइक्रोन |
| थोक घनत्व | डीआईएन आईईसी 60413/204 | 1.83 | जी/सेमी3 |
| खुली सरंध्रता | डीआईएन66133 | 10 | % |
| मध्यम छिद्र आकार | डीआईएन66133 | 1.8 | माइक्रोन |
| भेद्यता | डीआईएन 51935 | 0.06 | सेमी²/से |
| रॉकवेल कठोरता HR5/100 | डीआईएन आईईसी60413/303 | 90 | HR |
| विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता | डीआईएन आईईसी 60413/402 | 13 | μΩm |
| आनमनी सार्मथ्य | डीआईएन आईईसी 60413/501 | 60 | एमपीए |
| सम्पीडक क्षमता | डीआईएन 51910 | 130 | एमपीए |
| यंग का मापांक | डीआईएन 51915 | 11.5×10³ | एमपीए |
| थर्मल विस्तार (20-200℃) | डीआईएन 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| तापीय चालकता (20℃) | डीआईएन 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
यह विशेष रूप से उच्च दक्षता वाले सौर सेल विनिर्माण के लिए डिज़ाइन किया गया है, जो G12 बड़े आकार के वेफर प्रसंस्करण का समर्थन करता है। अनुकूलित वाहक डिज़ाइन थ्रूपुट को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाता है, जिससे उच्च उपज दर और कम उत्पादन लागत सक्षम होती है।
| वस्तु | प्रकार | नंबर वेफर वाहक |
| पीईवीसीडी ग्रेफाइट नाव - 156 श्रृंखला | 156-13 ग्रेफाइट नाव | 144 |
| 156-19 ग्रेफाइट नाव | 216 | |
| 156-21 ग्रेफाइट नाव | 240 | |
| 156-23 ग्रेफाइट नाव | 308 | |
| पीईवीसीडी ग्रेफाइट नाव - 125 श्रृंखला | 125-15 ग्रेफाइट नाव | 196 |
| 125-19 ग्रेफाइट नाव | 252 | |
| 125-21 ग्रेफाइट नाव | 280 |
