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सेमीकंडक्टर के लिए ग्रेफाइट सब्सट्रेट की SiC कोटिंग/लेपित थर्मल प्रसंस्करण के दौरान रिसेप्टर्स सेमीकंडक्टर वेफर्स को पकड़ते हैं और गर्म करते हैं। एक सुसेप्टर एक ऐसी सामग्री से बना होता है जो प्रेरण, चालन और/या विकिरण द्वारा ऊर्जा को अवशोषित करता है और वेफर को गर्म करता है। इसका थर्मल शॉक प्रतिरोध, थर्मल चालकता और शुद्धता तेजी से थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी) के लिए महत्वपूर्ण हैं। सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड (SiC), और सिलिकॉन (Si) का उपयोग आमतौर पर विशिष्ट थर्मल और रासायनिक वातावरण के आधार पर रिसेप्टर्स के लिए किया जाता है। PureSiC® CVD SiC और ClearCarbon™ अल्ट्रा-शुद्ध सामग्री जो बेहतर थर्मल स्थिरता, संक्षारण प्रतिरोध और स्थायित्व प्रदान करती है। उत्पाद वर्णन
सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए ग्रेफाइट सब्सट्रेट की SiC कोटिंग बेहतर शुद्धता और ऑक्सीकरण वातावरण के प्रतिरोध के साथ एक भाग का उत्पादन करती है।
CVD SiC या CVI SiC को सरल या जटिल डिज़ाइन भागों के ग्रेफाइट पर लागू किया जाता है। कोटिंग को अलग-अलग मोटाई में और बहुत बड़े हिस्से में लगाया जा सकता है।
आरटीपी (रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग), एपी (एपिटैक्सियल), प्रसार, ऑक्सीकरण और एनीलिंग सहित अर्धचालक थर्मल प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए तकनीकी सिरेमिक एक प्राकृतिक विकल्प है। कूर्सटेक उन्नत सामग्री घटक प्रदान करता है जो विशेष रूप से उच्च तापमान के लिए उच्च शुद्धता, मजबूत, दोहराए जाने योग्य प्रदर्शन के साथ थर्मल झटके का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।
विशेषताएँ:
· उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध
· उत्कृष्ट शारीरिक आघात प्रतिरोध
·उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध
· अति उच्च शुद्धता
· जटिल आकार में उपलब्धता
· ऑक्सीकरण वातावरण के तहत प्रयोग करने योग्य
आवेदन पत्र:
इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों में उपयोग के लिए तैयार होने से पहले एक वेफर को कई चरणों से गुजरना पड़ता है। एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया सिलिकॉन एपिटैक्सी है, जिसमें वेफर्स को ग्रेफाइट रिसेप्टर्स पर ले जाया जाता है। रिसेप्टर्स के गुणों और गुणवत्ता का वेफर की एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता पर महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है।
बेस ग्रेफाइट सामग्री के विशिष्ट गुण:
| स्पष्ट घनत्व: | 1.85 ग्राम/सेमी3 |
| विद्युत प्रतिरोधकता: | 11 μΩm |
| फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ: | 49 एमपीए (500किग्रा/सेमी2) |
| किनारों का कड़ापन: | 58 |
| राख: | <5पीपीएम |
| ऊष्मीय चालकता: | 116 डब्लू/एमके (100 किलो कैलोरी/एमएचआर-℃) |
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