Hiki ke hoʻomākaukau ʻia ka uhi SiC e ka hoʻoheheʻe ʻana o ka mahu (CVD), ka hoʻololi mua ʻana, ka pīpī plasma, a me nā mea ʻē aʻe. Ke hoʻohana nei i ka methyl trichlosilane. (CHzSiCl3, MTS) ma ke ʻano he kumu silikona, hoʻomākaukau ka uhi ʻana o SiC...
Heluhelu hou aku