SiC કોટિંગ ગ્રેફાઇટ MOCVD વેફર કેરિયર્સ, ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટર્સ માટેSiC એપિટેક્સી,
કાર્બન સપ્લાય સસેપ્ટર્સ, ગ્રેફાઇટ એપિટેક્સી સસેપ્ટર્સ, ગ્રેફાઇટ સપોર્ટ સબસ્ટ્રેટ્સ, MOCVD સસેપ્ટર, SiC એપિટેક્સી, વેફર સસેપ્ટર્સ,
અમારા SiC-કોટેડ ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટર્સના વિશેષ ફાયદાઓમાં અત્યંત ઉચ્ચ શુદ્ધતા, સજાતીય કોટિંગ અને ઉત્તમ સેવા જીવનનો સમાવેશ થાય છે. તેઓ ઉચ્ચ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને થર્મલ સ્થિરતા ગુણધર્મો પણ ધરાવે છે.
સેમિકન્ડક્ટર એપ્લિકેશન્સ માટે ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટનું SiC કોટિંગ શ્રેષ્ઠ શુદ્ધતા અને ઓક્સિડાઇઝિંગ વાતાવરણમાં પ્રતિકાર સાથેનો ભાગ ઉત્પન્ન કરે છે.
CVD SiC અથવા CVI SiC સરળ અથવા જટિલ ડિઝાઇન ભાગોના ગ્રેફાઇટ પર લાગુ થાય છે. કોટિંગ વિવિધ જાડાઈ અને ખૂબ મોટા ભાગોમાં લાગુ કરી શકાય છે.
વિશેષતાઓ:
· ઉત્તમ થર્મલ શોક પ્રતિકાર
· ઉત્તમ શારીરિક આઘાત પ્રતિકાર
· ઉત્તમ રાસાયણિક પ્રતિકાર
· સુપર ઉચ્ચ શુદ્ધતા
· જટિલ આકારમાં ઉપલબ્ધતા
ઓક્સિડાઇઝિંગ વાતાવરણ હેઠળ ઉપયોગ કરી શકાય છે
અરજી:
બેઝ ગ્રેફાઇટ સામગ્રીના લાક્ષણિક ગુણધર્મો:
દેખીતી ઘનતા: | 1.85 ગ્રામ/સેમી3 |
વિદ્યુત પ્રતિકારકતા: | 11 μΩm |
ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
કિનારાની કઠિનતા: | 58 |
રાખ: | <5ppm |
થર્મલ વાહકતા: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
કાર્બન સપ્લાય સસેપ્ટર્સઅને તમામ વર્તમાન એપિટાક્સી રિએક્ટર માટે ગ્રેફાઇટ ઘટકો. અમારા પોર્ટફોલિયોમાં એપ્લાઇડ અને એલપીઇ એકમો માટે બેરલ સસેપ્ટર્સ, એલપીઇ, સીએસડી અને જેમિની એકમો માટે પેનકેક સસેપ્ટર્સ અને એપ્લાઇડ અને એએસએમ યુનિટ્સ માટે સિંગલ-વેફર સસેપ્ટર્સનો સમાવેશ થાય છે. અગ્રણી OEM, સામગ્રીની કુશળતા અને ઉત્પાદનની જાણકારી સાથે મજબૂત ભાગીદારીને જોડીને, SGL. તમારી એપ્લિકેશન માટે શ્રેષ્ઠ ડિઝાઇન પ્રદાન કરે છે.