Barco/Torre de obleas SiC

Detalle do produto

ProdutoDescrición

Os barcos de obleas de carburo de silicio son amplamente utilizados como soporte para obleas no proceso de difusión a alta temperatura.

Vantaxes:

Resistencia a altas temperaturas:uso normal a 1800 ℃

Alta condutividade térmica:equivalente ao material de grafito

Alta dureza:dureza só superada por diamante, nitruro de boro

Resistencia á corrosión:O ácido forte e o álcali non teñen corrosión, a resistencia á corrosión é mellor que o carburo de tungsteno e a alúmina

Peso lixeiro:baixa densidade, próximo ao aluminio

Sen deformación: baixo coeficiente de dilatación térmica

Resistencia ao choque térmico:pode soportar cambios bruscos de temperatura, resistir o choque térmico e ten un rendemento estable

Propiedades físicas do SiC

Propiedade	Valor	Método
Densidade	3,21 g/cc	Pía-flotador e dimensión
Calor específico	0,66 J/g °K	Flash láser pulsado
Resistencia á flexión	450 MPa 560 MPa	Curva de 4 puntos, curva de punto RT4, 1300°
Tenacidade á fractura	2,94 MPa m1/2	Microindentación
Dureza	2800	Vicker's, carga de 500 g
Módulo elásticoMódulo de Young	450 GPa 430 GPa	Codo de 4 puntos, curva RT4 pt, 1300 °C
Tamaño do gran	2-10 µm	SEM

Propiedades térmicas do SiC

Condutividade térmica	250 W/m °K	Método de flash láser, RT
Expansión térmica (CTE)	4,5 x 10-6 °K	Temperatura ambiente ata 950 °C, dilatómetro de sílice