Barco de obleas contiguo

Breve descrición:

O Contiguous Wafer Boat de vet-china está deseñado para un manexo eficiente de obleas na fabricación de semicondutores. Deseñada con precisión, a solución de vet-china garante a estabilidade térmica e a resistencia química, optimizando os procesos de produción ao tempo que minimiza os danos e mellora o rendemento.

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

vet-china presenta un barco de obleas contiguo de última xeración deseñado para a próxima xeración de fabricación de semicondutores. Este barco meticulosamente deseñado ofrece unha precisión incomparable no manexo das obleas, garantindo operacións sen problemas e reducindo significativamente o risco de danos durante o procesamento.

Construído con materiais de alta calidade, o Contiguous Wafer Boat posúe unha excelente estabilidade térmica e unha resistencia química excepcional, polo que é ideal para ambientes químicos duros e de alta temperatura. O seu deseño innovador garante que as obleas se suxeitan de forma segura e perfectamente aliñadas, optimizando o rendemento e aumentando a eficiencia de fabricación.

Este barco de obleas de vangarda está feito a medida para satisfacer as esixentes necesidades das modernas fábricas de semicondutores, que admite varios tamaños e configuracións de obleas. Ao incorporar o Contiguous Wafer Boat de vet-china na súa liña de produción, pode esperar un rendemento mellorado, un tempo de inactividade reducido e un aumento das taxas de rendemento.

Proba a diferenza co compromiso de vet-china coa calidade e a innovación, que ofrece produtos que superan os límites da fabricación de semicondutores. Escolla o Contiguous Wafer Boat e eleva as súas capacidades de procesamento de obleas a novas alturas.

Propiedades do carburo de silicio recristalizado

O carburo de silicio recristalizado (R-SiC) é un material de alto rendemento cunha dureza só superada o diamante, que se forma a altas temperaturas por riba dos 2000 ℃. Mantén moitas excelentes propiedades do SiC, como a resistencia á alta temperatura, a forte resistencia á corrosión, a excelente resistencia á oxidación, a boa resistencia ao choque térmico, etc.

● Excelentes propiedades mecánicas. O carburo de silicio recristalizado ten unha maior resistencia e rixidez que a fibra de carbono, alta resistencia ao impacto, pode ter un bo rendemento en ambientes de temperatura extrema, pode xogar un mellor rendemento de contrapeso nunha variedade de situacións. Ademais, tamén ten unha boa flexibilidade e non se dana facilmente ao estirar e dobrar, o que mellora moito o seu rendemento.

● Alta resistencia á corrosión. O carburo de silicio recristalizado ten unha alta resistencia á corrosión para unha variedade de medios, pode evitar a erosión dunha variedade de medios corrosivos, pode manter as súas propiedades mecánicas durante moito tempo, ten unha forte adhesión, de xeito que teña unha vida útil máis longa. Ademais, tamén ten unha boa estabilidade térmica, pode adaptarse a un certo rango de cambios de temperatura, mellorar o seu efecto de aplicación.

● A sinterización non se encolle. Debido a que o proceso de sinterización non se encolle, ningunha tensión residual provocará deformación ou rachadura do produto, e pódense preparar pezas con formas complexas e alta precisión.

重结晶碳化硅物理特性 Propiedades físicas do carburo de silicio recristalizado
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
使用温度/ Temperatura de traballo (°C)	1600 °C (con osíxeno), 1700 °C (ambiente redutor)
SiC含量/ Contido SiC	> 99,96 %
自由Si含量/ Contido libre Si	< 0,1 %
体积密度/Densidade aparente	2,60-2,70 g/cm³
气孔率/ Porosidade aparente	< 16 %
抗压强度/ Resistencia a compresión	> 600MPa
常温抗弯强度/Resistencia á flexión en frío	80-90 MPa (20 °C)
高温抗弯强度Resistencia á flexión en quente	90-100 MPa (1400 °C)
热膨胀系数/ Expansión térmica @1500°C	4,70 10^-6/°C
导热系数/Condutividade térmica @1200°C	23W/m•K
杨氏模量/ Módulo elástico	240 GPa
抗热震性/ Resistencia ao choque térmico	Moi bo

VET Enerxía é ofabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con revestimento CVD,pode fornecervariospezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica. OO equipo técnico de ur provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionar solucións materiais máis profesionaispara ti.

Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiais máis avanzados,eelaboraron unha tecnoloxía patentada exclusiva, que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis estreita e menos propensa a desprenderse.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 / Tamaño do gran	2 ~ 10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995 %
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / ThermalCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1