Susceptor còmhdaichte le tantalum carbide airson wafer

Tuairisgeul goirid:

Tha Semicera na stiùiriche ann an teicneòlas dìon stuthan teòthachd àrd agus tha sinn moiteil toraidhean còmhdach CVD Tantalum Carbide (TaC) a thoirt a-steach gus dìon earbsach àrd teòthachd a thoirt seachad airson na fo-stratan grafait agad.Tha graphite na stuth sàr-mhath a tha an aghaidh teòthachd àrd, ach tha e buailteach do oxidation aig teòthachd àrd, nach gabh a sheachnadh gu tur eadhon ann am fùirneis falamh.Faodaidh an còmhdach CVD Tantalum Carbide (TaC) againn casg èifeachdach a chuir air oxidachadh an t-substrate grafait fhad ‘s a chumas e a choileanadh àrd teòthachd àrd.Tha TaC cuideachd na stuth inert a dh'fhaodas seasamh an aghaidh ath-bheachdan le gasaichean leithid argon agus hydrogen.Co-chomhairlich Semicera an-diugh gus barrachd ionnsachadh mu na suaicheantais EPI còmhdaichte le Tantalum Carbide CVD againn gus dèanamh cinnteach à seasmhachd agus earbsachd na tagraidhean teòthachd àrd agad.

Cuir post-d thugainn Luchdaich sìos mar PDF

Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Tha còmhdach TaC na sheòrsa de chòmhdach tantalum carbide (TaC) air ullachadh le teicneòlas tasgadh vapor corporra, tha na feartan a leanas aige:

1. Cruas àrd: Tha cruas còmhdach TaC àrd, mar as trice is urrainn dha 2500-3000HV a ruighinn, tha e na chòmhdach cruaidh sàr-mhath.

2. Cur an aghaidh caitheamh: Tha còmhdach TaC gu math caitheamh-dhìonach, a dh’ fhaodadh caitheamh is milleadh phàirtean meacanaigeach a lughdachadh gu h-èifeachdach rè cleachdadh.

3. Math an aghaidh teòthachd àrd: Faodaidh còmhdach TaC cuideachd a choileanadh sàr-mhath a chumail fo àrainneachd teòthachd àrd.

4. Seasmhachd ceimigeach math: Tha deagh sheasmhachd ceimigeach aig còmhdach TaC agus faodaidh e seasamh an aghaidh mòran ath-bheachdan ceimigeach, leithid searbhagan agus bunaitean.

Còmhdach CVD Tantalum Carbide EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Feartan fiosaigeach a TaC còmhdachadh
Seadh/ Dùmhlachd	14.3 (g/cm³)
比辐射率 / Iomallachd sònraichte	0.3
热膨胀系数 / Co-èifeachd leudachaidh teirmeach	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ cruas (HK)	2000 HK
adh / Frithealadh	1 × 10^-5 Ach* cm
热稳定性 / Seasmhachd teirmeach	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Bidh meud grafait ag atharrachadh	-10~-20um
涂层厚度 / Tighead còmhdach	≥20um luach àbhaisteach (35um±10um)

Tha Ningbo VET Energy Technology Co., Earranta na iomairt àrdteicneòlais le fòcas air cinneasachadh agus reic stuthan adhartach àrd, na stuthan agus an teicneòlas a tha a’ còmhdach grafait, silicon carbide, ceirmeag, làimhseachadh uachdar agus mar sin air adhart.Tha am bathar air a chleachdadh gu farsaing ann an photovoltaic, semiconductor, lùth ùr, Meatailteachd, msaa.

Tha an sgioba teignigeach againn a’ tighinn bho phrìomh ionadan rannsachaidh dachaigheil, is urrainn dhaibh barrachd fhuasglaidhean stuthan proifeasanta a thoirt dhut.

Tha fàilte chridheil oirbh tadhal air an fhactaraidh againn, leig leinn tuilleadh deasbaid a bhith againn!