Tha wafer epitaxial carbide silicon carbide VET Energy (SiC) na stuth semiconductor bann-leathann àrd-choileanadh le deagh sheasamh an aghaidh teòthachd àrd, tricead àrd agus feartan cumhachd àrd. Tha e na substrate air leth freagarrach airson ginealach ùr de dh’ innealan dealanach cumhachd. Bidh VET Energy a’ cleachdadh teicneòlas epitaxial adhartach MOCVD gus sreathan epitaxial SiC àrd-inbhe fhàs air substrates SiC, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh sàr-mhath agus cunbhalachd an wafer.
Tha an Wafer Epitaxial Silicon Carbide (SiC) againn a’ tabhann co-chòrdalachd sàr-mhath le measgachadh de stuthan semiconductor a ’toirt a-steach Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, agus SiN Substrate. Leis an ìre làidir epitaxial aige, tha e a’ toirt taic do phròiseasan adhartach leithid fàs Epi Wafer agus amalachadh le stuthan mar Gallium Oxide Ga2O3 agus AlN Wafer, a’ dèanamh cinnteach à cleachdadh sùbailte thar diofar theicneòlasan. Air a dhealbhadh gus a bhith co-chòrdail ri siostaman làimhseachaidh Cassette aig ìre gnìomhachais, bidh e a’ dèanamh cinnteach à gnìomhachd èifeachdach is sgiobalta ann an àrainneachdan saothrachaidh leth-chonnsair.
Chan eil loidhne toraidh VET Energy air a chuingealachadh ri wafers epitaxial SiC. Bidh sinn cuideachd a 'toirt seachad raon farsaing de stuthan substrate semiconductor, a' gabhail a-steach Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, msaa. Wafer, gus coinneachadh ri iarrtas gnìomhachas dealanach cumhachd san àm ri teachd airson innealan coileanaidh nas àirde.
Sònrachaidhean WAFERING
* n-Pm = n-seòrsa Pm-Ìre, n-Ps = n-seòrsa Ps-Ìre, Sl = leth-lnsulating
Nì | 8-Inch | 6-Inch | 4-Inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TBh (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow (GF3YFCD) - Luach iomlan | ≤15m | ≤15m | ≤25m | ≤15m | |
Warp(GF3YFER) | ≤25m | ≤25m | ≤40m | ≤25m | |
LTV (SBIR) -10mmx10mm | <2 m | ||||
Iomall Wafer | Beveling |
Crìochnaich FOGHLAIM
* n-Pm = n-seòrsa Pm-Ìre, n-Ps = n-seòrsa Ps-Ìre, Sl = leth-lnsulating
Nì | 8-Inch | 6-Inch | 4-Inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Crìoch air uachdar | Taobh dùbailte Pòlach Optigeach, Si- Face CMP | ||||
Garbhachd uachdar | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Edge Chips | Chan eil gin ceadaichte (fad is leud≥0.5mm) | ||||
Indents | Chan eil gin ceadaichte | ||||
Scratches (Si-Face) | Qty.≤5, tionalach | Qty.≤5, tionalach | Qty.≤5, tionalach | ||
Sgàinidhean | Chan eil gin ceadaichte | ||||
Exclusion Edge | 3mm |